
Alimentatore Sputtering Magnetron MF ad alta potenza
Questa fonte di energia sputtering magnetron MF ad alta potenza può implementare la funzione di spegnimento dell'arco in modo ragionevole e rapido sulla base del soddisfacimento completo dei requisiti di alimentazione. E l'alimentatore ha capacità di visualizzazione e protezione perfette sotto tensione, ...
- introduzione al prodotto
specificazione
Modello di prodotto | EP80A125H |
Ingresso Potenza e frequenza (V / Hz) Thre Phase e Four Wire | AC380 + N |
60Hz | |
Gamma corrente di uscita (A) | 0 ~ 80 |
Precisione per tensione costante e corrente costante | ≤1% |
Tensione di uscita nominale (DCV) | 1250 |
Potenza massima in uscita (KW) | 100 |
Ciclo di lavoro(%) | 80 |
Peso (kg) | 80 |
Dimensioni esterne (MM) | 575 (D) x 480 (W) x 250 (H) |
Grado di isolamento | B |
Produttività(%) | 90 |
Classe di protezione del recinto | IP21 |
Modalità operativa | La tensione costante, la corrente costante e le modalità di alimentazione costanti sono opzionali. Uscita convenzionale: corrente costante |
Modalità di raffreddamento | Raffreddamento ad acqua |
Interfaccia esterna | Tutti i prodotti della serie adottano il microcontroller touch screen |
Caratteristiche
◆ La fonte di energia sputtering magnetron MF ad alta potenza può implementare la funzione di spegnimento dell'arco ragionevolmente e rapidamente sulla base del soddisfacimento completo dei requisiti di alimentazione. Inoltre, l'alimentatore offre funzionalità di visualizzazione e protezione perfette per sottotensione, sovratensione, sovraccarico, surriscaldamento, ecc. Inoltre, è in grado di polverizzare bersagli non conduttivi e aumentare la velocità di ionizzazione per superare efficacemente l'avvelenamento del bersaglio e la scarica anomala.
◆ L'alimentatore adotta la tecnologia avanzata di alimentazione dell'inverter ad alta frequenza e il modulo di potenza IGBT per ridurre l'elemento di accumulo di energia in uscita, di conseguenza lo strato di rivestimento è estremamente denso e liscio.
◆ Utilizzando il microcontrollore touch screen, l'alimentatore è altamente integrato e potente con un funzionamento facile. Il display di corrente e tensione è molto chiaro e intuitivo.
◆ La tecnologia di soppressione arco di PHP fa sì che gli utenti possano controllare la qualità dello strato di rivestimento più conveniente nel processo di trattamento superficiale. Inoltre, avendo le caratteristiche di stabilizzazione della tensione e di coup de foue ideale, l'alimentatore può efficacemente inibire l'arco sulla superficie del pezzo, e migliorare significativamente la resa di produzione, così come la finezza della superficie e l'adesione del film dei pezzi di placcatura.
◆ L'alimentatore offre tre modalità (tensione costante, corrente costante e potenza costante) tra le quali scegliere. Rispetto alla modalità di corrente costante tradizionale, la modalità di potenza costante può garantire meglio la ripetibilità del processo di rivestimento.
◆ L'alimentatore può comunicare con il computer host attraverso le porte digitali come RS232, RS485, WIFI e così via, che espande la sua funzione di controllo.
◆ Con un'ampia gamma di potenza di uscita e frequenza, l'alimentatore può soddisfare le esigenze di diverse applicazioni di processo.
◆ I parametri principali di esso possono essere regolati in un ampio intervallo.
Applicazione
La sorgente di energia sputtering magnetron MF ad alta potenza è ampiamente utilizzata nei campi di ricerca di plasma, fisica, chimica, medicina e vari campi scientifici, in grado di soddisfare un'ampia gamma di requisiti di processo, in particolare nelle apparecchiature per il rivestimento sottovuoto.
Confronto delle prestazioni confrontato con l'alimentatore Sputtering Magnetron MF da 30kw
Modalità prodotto | 30kw a media frequenza | EP125A80H |
Frequenza (KHz) | 40 | 40 |
Ciclo di lavoro(%) | 80 | 80 |
Tensione (V) | 800 | 800 |
Corrente (A) | 38 | 125 |
Potenza massima (KW) | 30 | 100 |
Vantaggi della sorgente di potenza Sputtering Magnetron MF High Power EP125A80H
◆ Elevato utilizzo dello spazio della fornace
EP125A80H richiede meno bersagli a frequenza intermedia e garantisce un maggiore utilizzo del forno e una migliore capacità di produzione.
◆ Eccellente tecnologia di soppressione degli archi
EP125A80H adotta la tecnologia di soppressione dell'arco PHP, in modo che gli utenti possano controllare comodamente la qualità del film nel processo di trattamento della superficie per ottenere una migliore struttura del film.
◆ Buona compatibilità
Gli utenti possono sostituire direttamente l'alimentatore di sputtering magnetron esistente con EP125A80H, e devono solo sostituire il sistema di raffreddamento invece di sostituire i materiali catodici ei campi magnetici.
◆ Elevato rapporto potenza-volume
L'elevato rapporto potenza-volume facilita l'integrazione dell'installazione delle apparecchiature per gli utenti.



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