Apparecchiatura per rivestimento ottico PVD

La macchina di rivestimento evaporativa Iks-opt2700 è progettata per la produzione rapida di rivestimenti di pellicole ottiche ad ampia area e film di modifica della superficie a singolo / multistrato. La macchina è una macchina di rivestimento a cavità verticale singola, che è un sistema di rivestimento a pellicola ottica multistrato basato sull'evaporazione della pistola elettronica. I principali prodotti di questa apparecchiatura includono film dielettrico multistrato depositato per evaporazione e film anti-impronta, ecc. Ad esempio, pellicola a luce visibile, pellicola riflettente in alluminio, pellicola anti-impronta AF, pellicola organica a basso punto di fusione, visibile film spettrofotometrico leggero, pellicola antiriflesso a luce visibile, ecc., che può anche essere testato e prodotto per uno specifico sistema di film con caratteristiche ottiche semplici.

Parametri tecnici: 1, installare: L5500 L45000 * * H3400mm; 2, il corpo della cavità interna: Φ H1680mm 3, caricamento: 2700 * 2650 * H420mm Φ telaio in acciaio inossidabile; 4. Materiale target: una serie di cannoni elettronici a 12 buche, raffreddati ad acqua in rame; 5. Evaporazione: un sistema di evaporazione della resistenza; 6. Intervallo di vuoto: atm-6 * 10-4pa; 7. Sorgente ionica: sorgente di ioni Hall, 4KW; 8. Velocità di deposizione: mac-3b / XTC3 / S; 9. Riscaldamento della cavità: 6 gruppi di riscaldamento del filamento di base, 24 KW; 10. Vacuum: flussometro e gas di processo di controllo della valvola a spillo; 11, alimentazione: 220 v50hz 12, flangia esterna: KF16 e KF25 13, vuoto vinificato: pompa meccanica, pompa per radici e pompa a bassa temperatura

Applicazione:

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