Componenti di base dell'attrezzatura per rivestimento utensili

Le moderne apparecchiature di rivestimento sottovuoto (tecnologia di riscaldamento uniforme, tecnologia di misurazione della temperatura, tecnologia di sputtering magnetron sbilanciata, tecnologia dell'anodo ausiliario, alimentazione a frequenza intermedia, tecnologia a impulsi) sono principalmente composte da camera a vuoto, sezione di pompaggio del vuoto, sezione di misurazione del vuoto, parte di alimentazione, processo sistema di immissione del gas, parte di trasmissione meccanica, parte di misurazione di riscaldamento e temperatura, evaporazione di ioni o sorgente di sputtering, sistema di raffreddamento ad acqua e altre parti.

1. Camera a vuoto

Attrezzatura di rivestimento principalmente suddivisa in linea di produzione di rivestimento continuo e macchina di rivestimento a camera singola. A causa delle elevate esigenze del rivestimento di stampi e utensili sulle parti di riscaldamento e di trasmissione meccanica, nonché della grande differenza di forma e dimensione dello stampo, la linea di produzione di rivestimento continuo è solitamente difficile da soddisfare il requisito e la verniciatura a camera singola è sempre usato

2. Sistema di pompaggio del vuoto

Nella tecnologia del vuoto, il sistema di pompaggio del vuoto è una parte importante. A causa degli elevati requisiti di adesione degli stampi e del rivestimento degli utensili, il processo di rivestimento richiede un buon sottofondo di fondo, quindi una selezione ragionevole del sistema di pompaggio del vuoto delle attrezzature è essenziale per raggiungere un grado di vuoto elevato. Per il momento, non esiste una pompa in grado di funzionare a partire dalla pressione atmosferica finché non si avvicina al vuoto ultra alto. Pertanto, il buon vuoto non è ottenibile con attrezzature o metodi a vuoto singolo. Diverse pompe devono essere utilizzate in combinazione, come sistema di pompe meccaniche, sistemi di pompe molecolari e così via.

3. Sistema di misurazione del vuoto

La parte di misurazione del vuoto del sistema del vuoto viene utilizzata per misurare la pressione nella camera del vuoto. Come la pompa del vuoto, non esiste un vacuometro in grado di misurare l'intera gamma del vuoto. Così tanti tipi di misuratori di vuoto sono prodotti secondo diversi principi e requisiti.

4. Sistema di alimentazione

L'alimentatore di destinazione include principalmente l'alimentazione DC (come MDX) e l'alimentazione a frequenza intermedia (come PE, PEII e PINACAL della American AE Company). Di norma, il pezzo in lavorazione deve essere alimentato con corrente continua (ad esempio MDX), alimentazione a impulsi (ad esempio PINACAL + prodotta da American AE Company) o alimentazione RF (RF).

5. Sistema di input del gas di processo

I gas di processo, come l'argon (Ar), l'elio (Kr), l'azoto (N2), l'acetilene (C2H2), il metano (CH4), l'idrogeno (H2) e l'ossigeno (O2) sono generalmente forniti da bombole di gas. Entrano nella camera del vuoto attraverso la valvola di riduzione della pressione del gas, la valvola di intercettazione del gas, la tubazione, il flussometro del gas, l'elettrovalvola, la valvola piezoelettrica. Il vantaggio di questo tipo di sistema di immissione del gas è che le tubazioni sono semplici e chiare ed è facile riparare o sostituire il cilindro. Inoltre, ogni macchina di rivestimento non si influenzano a vicenda. Inoltre, ci sono anche casi in cui più verniciatori condividono un gruppo di cilindri, che può essere trovato in alcuni dei più grandi negozi di rivestimento, i vantaggi sono che riduce il consumo di bombole di gas, e rende la pianificazione e il layout unificato. Lo svantaggio è che la possibilità di perdite aumenta a causa di molte articolazioni. Inoltre, le macchine di rivestimento interferiscono tra loro e la perdita d'aria di un tubo della macchina di rivestimento può influire sulla qualità del prodotto di altre macchine di rivestimento. Inoltre, quando si sostituiscono i cilindri, è necessario assicurarsi che tutti i mainframe si trovino in uno stato di non utilizzo.

6. Sistema di trasmissione meccanica

Il rivestimento dell'utensile richiede che il film abbia uno spessore uniforme. Pertanto, ci devono essere tre rotazioni nel processo di rivestimento per soddisfare i requisiti. Cioè, mentre una rotazione della tavola del pezzo in lavorazione è grande, anche un piccolo tavolo portapezzo viene ruotato e il pezzo in lavorazione può ruotare contemporaneamente. Nella progettazione meccanica, generalmente, al centro del fondo del grande giradischi del pezzo da lavorare vi è un grande ingranaggio di guida, circondato da alcune piccole ruote a stella per ingranare con esso, e quindi utilizzare la forcella del cambio per ruotare il pezzo da ruotare. Naturalmente, quando si realizzano i rivestimenti dello stampo, sono sufficienti in genere due rotazioni, ma la capacità di carico dell'ingranaggio deve essere notevolmente migliorata.

7. Sistema di misurazione della temperatura e del riscaldamento

Quando si realizza il rivestimento dello stampo, come garantire il riscaldamento uniforme del pezzo è molto più importante di quello nel processo di rivestimento decorativo. L'apparecchiatura di rivestimento dello stampo ha generalmente due riscaldatori davanti e dietro e la termocoppia viene utilizzata per misurare e controllare la temperatura. Tuttavia, a causa dei diversi punti di bloccaggio della termocoppia, la lettura della temperatura non può essere la vera temperatura del pezzo. Esistono molti modi per misurare la vera temperatura del pezzo. Ecco un termometro di superficie facile da usare. Il principio di funzionamento di questo termometro è che quando il termometro viene riscaldato, la molla sul fondo verrà riscaldata per espandersi, in modo che il puntatore spinga il puntatore di posizionamento a ruotare fino alla temperatura massima. Quando la temperatura viene ridotta, la molla si ritira e il puntatore ruota nella direzione inversa, ma il puntatore di posizionamento rimane nella posizione di temperatura più alta. Dopo l'apertura della porta, viene letta la temperatura indicata dal puntatore di posizionamento, ovvero la temperatura massima raggiunta dal termometro di superficie quando riscaldata nella camera a vuoto.

8. Sorgenti di evaporazione ionica e sputtering

La fonte di evaporazione della placcatura a più archi è generalmente rotonda, comunemente nota come bersaglio circolare. Negli ultimi anni è apparso anche un bersaglio rettangolare multi-arco, ma non è stato osservato alcun effetto evidente. Il bersaglio rotondo è montato sul supporto del bersaglio in rame (supporto per catodo) ei due sono avvitati insieme. C'è un magnete nel supporto del bersaglio, e l'intensità del campo magnetico può essere cambiata muovendo il magnete avanti e indietro, e anche la velocità di movimento e il percorso del punto d'arco possono essere regolati in questo modo. Al fine di ridurre la temperatura del target e del target holder, l'acqua di raffreddamento viene continuamente fornita al target holder. E al fine di garantire un'elevata conduttività elettrica e termica tra il target e il target holder, la guarnizione in stagno (Sn) può anche essere aggiunta tra il target e il target holder. Inoltre, il rivestimento sputtering di magnetron generalmente utilizza bersagli rettangolari o cilindrici.

9. Sistema di raffreddamento ad acqua

Per il rivestimento dello stampo, al fine di aumentare la velocità di atomizzazione degli atomi di metallo, ciascun porta-bersaglio del catodo adotta una potenza di uscita elevata il più possibile, il che richiede un raffreddamento adeguato. Inoltre, la temperatura di riscaldamento di molti tipi di utensili e rivestimenti per stampi è di 400 ~ 500 ℃ . Pertanto, anche il raffreddamento della parete della camera del vuoto e di ciascuna superficie di tenuta è molto importante, quindi l'acqua di raffreddamento viene preferibilmente fornita da un refrigeratore di circa 18 ÷ 20 ℃ . Al fine di evitare che le pareti della camera a vuoto a bassa temperatura e gli obiettivi dei catodi dissolvino l'acqua quando viene a contatto con l'aria calda dopo l'apertura della porta, il sistema di raffreddamento dell'acqua dovrebbe essere in grado di passare allo stato di alimentazione dell'acqua calda circa 10 minuti prima dell'apertura della porta. La temperatura dell'acqua calda è di circa 40 ~ 45 ℃.