Caratteristiche e classificazione dell'unità sottovuoto ultra-alta

Caratteristiche e classificazione dell'unità sottovuoto ultra-alta

Le unità sottovuoto ultra-alte che lavorano sopra i 10-5Pa includono pompa di diffusione, unità di vuoto ultra-alta pompa molecolare e unità a vuoto ultra-alta oil-free. L'unità presenta le seguenti caratteristiche:
(1) il grado finale di vuoto della pompa principale è elevato, superiore a 10-7 ~ 10-8Pa;
(2) può resistere a cottura ad alta temperatura di 200 ~450°C;
(3) La pressione parziale del gas di riflusso nella pompa principale è molto bassa;
4) essere pompata a gas selettiva pompa principale forte, da munirsi di una pompa ausiliaria abbastanza grande;
La velocità di uscita del materiale della camera a vuoto, del tubo, della valvola e di altri componenti è molto bassa e la velocità di perdita d'aria è molto piccola.

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