classificazione delle CVD
May 06, 2024| classificazione delle CVD
In base alla differenza nello stato di fase normale della fonte di materiale reattivo CVD, può essere ulteriormente definito come
1. Fonte di materiale gassoso: sostanze che sono gassose a temperatura ambiente (H2, N2, CH4, Ar, ecc.). Quando viene utilizzata la fonte di materiale gassoso, il sistema del dispositivo di rivestimento è notevolmente semplificato poiché solo la portata del gas di reazione deve essere controllata dal flussometro, anziché la temperatura.
2. Fonti di materiali liquidi: sostanze reattive che sono liquide a temperatura ambiente, come TiCl4, CH3CN, SiCl4 e BCl3. La quantità di fonte di materiale liquido che entra nella camera di deposizione viene controllata controllando il gas di trasporto e la temperatura di riscaldamento quando viene utilizzato il flusso di materiale liquido.
3. Fonti di materiali solidi: sostanze che sono solide a temperatura ambiente, come AlCl, NbCl5, TaCl5, ZrCl5 e HfCl4. Poiché questo tipo di materiale deve sublimare la quantità richiesta di vapore a una temperatura più elevata, la temperatura di riscaldamento e la capacità di carico devono essere rigorosamente controllate quando si utilizza questo tipo di processo.
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