Classificazioni di vacuometri

1. Classificato per metodo di taratura del vuoto

(1) Vuoto assoluto: legge direttamente la pressione del gas. La sua risposta alla pressione (scala) può essere calcolata dalla propria geometria o determinata dalla forza di misurazione. I vacuometri assoluti sono precisi per tutti i gas. Gli indicatori di vuoto di tipo U, i manometri di compressione e i calibri di radiazione termica appartengono tutti agli indicatori del vuoto assoluto.

(2) Vuoto relativo: la pressione è misurata dalla quantità relativa alla pressione del gas. Non può essere ridimensionato con un semplice calcolo e deve essere calibrato in scala. Un vacuometro relativo è generalmente costituito da un tubo del vuoto (o testa del calibro) che funziona come un sensore e un misuratore che utilizza per il controllo e l'indicazione. La lettura è correlata al tipo di gas. Esistono molti tipi di vacuometri relativi, come misuratori del vuoto a conduzione termica e misuratori del vuoto a ionizzazione.

2. Classificazione in base al principio di misurazione del vacuometro

2.1. Misuratore di vuoto diretto

Questo tipo di vacuometro misura direttamente la forza per unità di area, tra cui:

(1) Vuoto del livello del liquido statico: la pressione viene misurata dalla differenza di livello del liquido alle due estremità del tubo a forma di U.

(2) Vuoto dell'elemento elastico: la superficie del contenitore collegato al vuoto viene sottoposta a pressione per generare una deformazione elastica. La grandezza del valore di pressione è misurata dalla deformazione elastica.

2.2. Vuotometro per misurazione indiretta

Quando la pressione è di 10 ^-1 Pa, la forza che agisce sulla superficie di 1 cm ² è solo di 10 ^-5 N, ed è ovviamente difficile misurare una forza così piccola. Tuttavia, il cambiamento di pressione può essere misurato indirettamente in base alle variazioni delle quantità fisiche associate alla pressione del gas a bassa pressione. Questo tipo di vacuometro tra cui:

(1) Vuotometro a compressione: il principio è applicare la legge di Boyle sulla base del tubo a U, cioè una certa quantità di gas da sottoporre a prova è sottoposta a compressione isotermica per aumentare la pressione, in modo da essere misurata da un vacuometro a U. Quindi calcola la pressione misurata usando la relazione tra volume e pressione.

(2) Vuotometro a conduzione termica: è costituito dal principio che la conduzione del calore del gas a bassa pressione è correlata alla pressione. I vacuometri a conduzione termica comunemente utilizzati sono misuratori di vuoto a resistenza e vacuometri a termocoppia.

(3) Vacuometro per radiazioni termiche: utilizzo del principio della radiazione e della pressione del calore.

(4) Vuoto di ionizzazione: il principio secondo il quale le molecole di gas vengono colpite e ionizzate dalle particelle cariche a bassa pressione e la corrente di ioni generata cambia con l'energia elettrica. I misuratori di vuoto a ionizzazione includono il vacuometro a ionizzazione a catodo caldo, il vacuometro per la ionizzazione del catodo freddo, il vacuometro per la ionizzazione radioattiva e così via.

(5) Indicatore del tubo di scarico: il grado di vuoto è misurato dalla condizione di scarico del gas e dalla natura del colore e della pressione di scarico e generalmente può essere utilizzato solo come misura qualitativa.

(6) Vuoto viscoso: il principio dell'attrito esterno viene utilizzato per misurare la pressione. Compreso vacuometro a diaframma e vacuometro rotore a sospensione magnetica.

(7) Microscopia indotta da campo: la pressione viene calcolata dalla relazione tra tempo di adsorbimento e tempo di desorbimento e pressione.

(8) Vacuometro a pressione parziale: la tecnica della spettrometria di massa viene utilizzata per misurare la pressione parziale del gas miscelato. I calibri comunemente utilizzati sono spettrometri di massa quadrupolici, spettrometri di massa a ciclotrone e spettrometri di massa a radiofrequenza.