Sistema per vuoto ultra-alto senza olio con pompa criogenica

Sistema per vuoto ultra-alto senza olio con pompa criogenica
La pompa criogenica viene utilizzata come pompa principale e viene utilizzata la pompa di adsorbimento a setaccio molecolare in parallelo o in serie (per la pompa del vuoto di prepompaggio). Il sistema per vuoto può utilizzare anche una pompa meccanica come pompa di prevuoto, ma il separatore vapori olio deve essere posizionato nel tubo di ingresso della pompa meccanica.

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