Dispositivo di elaborazione principale del fascio di elettroni

Dispositivo di elaborazione principale del fascio di elettroni

Il dispositivo di elaborazione del fascio di elettroni è costituito principalmente dalle seguenti parti:

Pistola elettronica

Un dispositivo per ottenere un fascio di elettroni, che include:
1. Catodo ad emissione di elettroni - realizzato in tungsteno o tantalio ed elettroni emettitori in condizioni di riscaldamento.
2, controlla il gate - non solo controlla la forza del fascio di elettroni, ma ha anche un effetto di messa a fuoco primario.
3. Anodo accelerato - solitamente collegato a terra e poiché il catodo ha un'alta pressione negativa, può spingere gli elettroni ad accelerare.

Sistema di vuoto

Garantire il vuoto richiesto per l'elaborazione elettronica. Il grado di vuoto dell'elaborazione generale del fascio di elettroni viene mantenuto a 1,33 × 10-2 ~ 1,33 × 10-4 Pa.

Sistema di controllo e alimentazione

Il sistema di controllo include il controllo della messa a fuoco del raggio, il controllo della posizione del raggio, il controllo dell'intensità del raggio e il controllo dello spostamento della tavola.
Controllo della messa a fuoco del raggio: aumenta la densità di energia del fascio di elettroni, che determina l'apertura o la larghezza della cucitura del punto di elaborazione.
Metodo di messa a fuoco: in primo luogo, il campo elettrostatico ad alta tensione viene utilizzato per focalizzare il flusso di elettroni in un fascio sottile; Un altro metodo consiste nell'utilizzare una "lente elettromagnetica" per mettere a fuoco un campo magnetico.

Controllo della posizione del raggio: cambia la direzione degli elettroni.
Controllo spostamento tavola: controlla la posizione della tavola durante la lavorazione.
Alimentazione: requisiti di stabilità dell'alta tensione, comunemente utilizzati per stabilizzare l'alimentazione.

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