Elaborazione del fascio di elettroni ed elaborazione del fascio di ioni
Nov 29, 2019| L'elaborazione del fascio di elettroni e l'elaborazione del fascio di ioni sono nuovi tipi di elaborazione speciale. Sono ampiamente utilizzati nella micromachining di precisione, in particolare nel campo della microelettronica. In generale, l'elaborazione del fascio di elettroni viene utilizzata principalmente per la lavorazione a caldo come punzonatura, saldatura e litografia del fascio di elettroni, mentre l'elaborazione del fascio di elettroni viene utilizzata principalmente per l'attacco con ioni, il rivestimento di ioni e l'impianto di ioni.
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