Formazione di film sottili
Jan 23, 2018| 1. la coagulazione è il risultato dell'adsorbimento reciproco delle matrice molecole e gli atomi d'evaporazione
Nel vuoto, quando certa energia dell'atomo di evaporazione incide sulla superficie del substrato, scambio di energia con la molecola di substrato avviene mediante il campo di forza della superficie del substrato e adsorbimento fisico e Chemiassorbimento si verificano tra il evaporazione di atomo e la molecola di substrato. Adsorbimento fisico è qualsiasi due forze di Vander Waals vicino a vicenda tra molecole e adsorbimento chimico è il legame chimico tra atomi. Non tutti l'evaporazione atomi può adsorbimento con molecole di substrato, alcuni atomi di mantenere la maggior parte dell'energia dei loro propri, e la collisione è accaduto dopo la riflessione, anche quelli evaporati atomi adsorbiti ha ancora possono essere trasferiti sulla superficie del substrato o di desorbimento e lasciare la superficie del substrato. Inoltre, sulla superficie del substrato, c'è un'associazione fra gli atomi evaporati e dello stesso tipo di atomi adsorbiti sulla superficie del substrato. Il processo di evaporazione atomi adsorbiti dal substrato è chiamato agglomerazione.
Il rapporto dell'atomo condensata all'atomo incidente viene chiamato il coefficiente Coacervazione dell'atomo evaporazione. A causa della diversa attrazione tra atomi, il coefficiente di agglomerazione dello stesso tipo di atomi di evaporazione per diversi substrati è diverso.
Ogni atomo evaporato ha diversa temperatura critica della formazione del film per diversi substrati e la temperatura del substrato è inferiore alla temperatura critica del film, si può essere condensato. Questo fenomeno può essere interpretato come: quando la temperatura del substrato è troppo alta, gli atomi d'evaporazione che interferisce sulla superficie del substrato sono riflesse o sotto esame desorbiti. Nel film di formatura (base esistente di formatura pellicola), anche se la temperatura del substrato supera la temperatura critica, il film può continuare a crescere, e cambierà il suo stato di cristallizzazione. Nella fase iniziale della formazione del film, il film è in stato amorfo o corpo vitreo, con l'aumento della temperatura, il film gradualmente alla transizione metastabile, se questa tendenza continua, esso si trasformerà per stabile, infine nel film cristallini.
2. itinerario formativo di film sottile
All'inizio della deposizione, la superficie del substrato viene assorbita uniformemente alcuni evaporazione degli atomi, l'interazione tra gli atomi dell'evaporazione si riuniscono in alcuni nuclei che crescono, migrazione, la fusione, la formazione di un numero di piccole isole (grande cristallo i nuclei riuniti insieme), la superficie basale di questi crescita maggiori isole simili l'uno a altro, sono collegati a formare una grande isola. Con la deposizione, le altezze di queste isole e isolotti sono in aumento, e infine una struttura di rete con fossati è formata sulla superficie intera base. Il risultato di evaporazione continua, l'evaporazione atomi sono anche continuamente nucleati e isola in trincea e alla fine le fosse complete gradualmente sono pieni. Quando i fossati e i fori nella superficie della base sono pieni, gli atomi evaporati continuano a costruire tutti i tipi di film su queste strutture.
Sotto il microscopio elettronico, si vede che i film di evaporazione termica convenzionale sono strutture tutte cilindriche. La direzione del cilindro è uguale a quello della crescita di film, ma perpendicolare all'interfaccia film, e ci sono molte lacune tra questi cilindri. Misurare il divario complessivo nel film di densità di riempimento:
Riempimento di densità (P) = il volume della parte solida del film (cilindro) / il volume del film (cilindro + poro)
La densità di riempimento è una funzione della temperatura del substrato e nella maggior parte dei casi, la densità di riempimento aumenta con l'aumento della temperatura del substrato. In generale, aumentando il tasso di evaporazione può aumentare la densità di riempimento, e l'effetto del tasso di evaporazione è particolarmente significativo quando il film è inferiore. La densità di intasamento anche aumenta con l'aumento dello spessore del film. Questo è probabilmente dovuto al cambiamento dello stato struttura del film durante il processo di filmazione. Può anche essere dovuto al blocco di una parte dei pori pellicola nel processo di formazione di pellicola.
