Gruppo pompa per alto vuoto

Gruppo pompa per alto vuoto
Il gruppo di pompe ad alto vuoto funziona nello stato di flusso molecolare e, rispetto all'unità a basso vuoto, è caratterizzato da una bassa pressione di esercizio (10-2 ~ 10-6Pa), un volume di scarico ridotto e un'elevata velocità di pompaggio . La pompa principale dell'unità è solitamente una pompa a diffusione, una pompa booster a diffusione, una pompa molecolare, una pompa a sublimazione in titanio, una pompa di condensazione a bassa temperatura, ecc. Queste pompe non possono funzionare direttamente nell'atmosfera, quindi è necessario configurare le pompe di pre-pompaggio e pompe pre-stadio, e alcune pompe a diffusione sono anche dotate di pompe di manutenzione pre-stadio o serbatoi di gas per prevenire fluttuazioni di pressione nel sistema e migliorare le prestazioni di pompaggio dell'unità.

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