Come funziona la pulizia al plasma
Aug 08, 2020| Come funziona la pulizia al plasma
La luce ultravioletta prodotta nei plasma è molto efficace nel rompere la maggior parte dei legami organici negli inquinanti superficiali. Questo aiuta a abbattere l'olio. Una seconda pulizia viene effettuata con ossigeno ad alta energia prodotto nel plasma. Queste sostanze reagiscono con inquinanti organici, principalmente acqua e biossido di carbonio, che vengono continuamente rimossi (pompati) dalla camera durante la lavorazione.
Se la parte da pulire al plasma è costituita da un materiale facilmente ossidabile (come l'argento o il rame), viene utilizzato invece un gas inerte (come argon o elio). Gli atomi e gli ioni attivati al plasma agiscono come sandblastmolecolari molecolari, abbattendo gli inquinanti organici. Durante il trattamento, questi contaminanti evaporano di nuovo e vengono scaricati dalla camera.
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