Presentazione di Mass Flow Controller
Jan 31, 2018| Il controllore di flusso di massa (MFC) viene utilizzato per la misurazione e il controllo preciso della portata massica del gas. Di solito è composto da sensore di flusso, valvola di controllo del flusso, circuito di controllo di amplificazione e canale di controllo dello shunt. Il suo lavoro di alimentazione e visualizzazione del flusso e le operazioni di impostazione dal suo alimentatore di visualizzazione flusso di supporto.
Uso e caratteristiche
La MFC svolge un ruolo importante nella ricerca scientifica e nella produzione in molti campi come l'industria della microelettronica dei semiconduttori, lo sviluppo di materiali speciali, l'industria chimica, l'industria petrolifera, la medicina, la protezione ambientale e il vuoto.
Le applicazioni tipiche comprendono: apparecchiature elettroniche di processo quali diffusione, ossidazione, epitassia, CVD, plasma mordenzatura, sputtering, impianto di ioni; e apparecchiature per il rivestimento sotto vuoto, gascromatografi e altri strumenti analitici.
Controllore di flusso di massa e misuratore di portata di massa con elevata precisione, buona ripetibilità, velocità di risposta rapida, avvio morbido, campo di pressione di lavoro stabile e affidabile (che può funzionare in condizioni di alta pressione o vuoto), l'operazione è facile da usare. MFC può essere installato in qualsiasi posizione ed è collegato al computer per realizzare il controllo automatico.
Il misuratore di portata è generalmente suddiviso nei seguenti tipi:
1. Flussometro volumetrico
Usa l'elemento di misura meccanico per dividere continuamente il fluido in una singola parte di volume noto. Il flusso di volume del fluido viene misurato in base al numero di volte del volume di fluido riempito e scaricato uno dopo l'altro in successione dalla camera di misurazione.
2. Flussimetro a galleggiante (misuratore di portata del rotore)
Il misuratore di portata flottante è un tipo di misuratore di portata ad area variabile, in un cono verticale dall'alto verso il basso, la sezione circolare della gravità galleggiante è supportata dalla potenza del liquido, in modo che il galleggiante possa essere libero nel cono.
3. Flussimetro a pressione differenziale
Si basa sulla pressione differenziale prodotta dal rilevatore di flusso installato nel tubo, dalle condizioni del fluido noto e dal misuratore per calcolare il flusso tra il tubo e il tubo.
4. Misuratore di portata Vortex (VSF)
Il generatore di vortice non lineare è posto nel fluido e il fluido è alternativamente separato su entrambi i lati del corpo generatore per rilasciare due serie di strumenti a vortice regolarmente interlacciati.
5. Flussometro a turbina
È il tipo principale di misuratore di portata di velocità. Utilizza il rotore a più pale (turbina) per rilevare la velocità media del fluido e deduce lo strumento del volume del flusso o della quantità totale.
6. Misuratore di portata ad ultrasuoni
Misura il flusso misurando l'effetto del flusso del fluido sul fascio ultrasonico (o sull'impulso ultrasonico).
7. Misuratore di portata elettromagnetico
Il misuratore di portata elettromagnetico è un tipo di strumento per misurare la conduttività del liquido secondo la legge dell'induzione elettromagnetica di Faraday.
8. Flussimetro a massa termica
Il sensore del misuratore di portata termica contiene due elementi di rilevamento, un sensore di velocità e un sensore di temperatura. Possono compensare e calibrare automaticamente la variazione di temperatura del gas. La parte di riscaldamento elettrica dello strumento ha riscaldato il sensore di velocità ad un determinato valore superiore alla temperatura della condizione di lavoro, in modo che si formasse una differenza di temperatura costante tra il sensore di velocità e il sensore alla condizione di temperatura di lavoro. Quando la differenza di temperatura viene mantenuta costante, l'energia consumata dal riscaldamento elettrico è proporzionale alla portata massica del flusso di gas ed è adatta per la misurazione di un singolo gas e una proporzione fissa di gas multicomponente.
