Introduzione del metodo dell'operazione di rivestimento sotto vuoto macchina

La macchina di rivestimento sotto vuoto è uno strumento di rivestimento che ha bisogno per funzionare ad un vuoto maggiore. È diviso in due tipi di evaporazione e sputtering.

Processo di rivestimento di evaporazione è generalmente il riscaldamento materiale, che fa sì che le componenti di superficie del materiale bersaglio per essere vaporizzato da atomico di destinazione o in forma di ioni e depositato sulla superficie del substrato, formando il film sottile attraverso il processo della pellicola formazione.

Rivestimento Sputtering può essere inteso semplicemente come l'uso di elettroni o laser ad alta energia al bombardamento il bersaglio e fare le componenti di superficie del bersaglio essere sputtering sotto forma di atomi o ioni e alla fine depositato sulla superficie del substrato, formare il film sottile attraverso il processo di formazione del film.

Attenersi alla seguente procedura:

1. Metodo operazione di armadietto di controllo elettromeccanici per metallizzazione sotto vuoto

(1) aprire la fonte di aria e pompa di acqua.

(2) accendere l'alimentazione principale.

(3) aprire l'alimentazione della pompa della holding e del misuratore di vuoto, la posizione di vacuometro posizione V1, attendere per il suo valore inferiore a 10 e quindi immettere l'operazione successiva. Probabilmente ha bisogno di cinque minuti.

(4) accendere la pompa meccanica, eseguire il pre-pompaggio, aprire l'alimentazione di turbo pompa molecolare e avviare la pompa molecolare. L'interruttore di vacuometro è cambiato nella posizione di V2. Dopo il grado di vuoto è pompato a meno di 2, smettere di pompare, e ci vorranno 20 minuti.

(5) quando le letture della pompa molecolare della turbina sono osservate per raggiungere 250, il pompaggio del pre è chiuso, quindi aprire il supporto pompa e valvole per vuoto alte continuano ad evacuare. Solo dopo il vuoto raggiunge 2 × 10-3, l'alimentazione della pistola elettronica può essere attivata.

2. funzionamento della macchina di rivestimento sotto vuoto

(1) accendere l'alimentazione principale.

(2) allo stesso tempo aprire il controllo elettronico di pistola I e II alimentazione: secondo il controllo elettronico di pistola potere, interruttore di ritardo e poi la luce di ritardo, accensione lampada e protezione luce, luce. Dopo tre minuti, spegnere la lampada di luce e protezione di ritardo. Se la porta non è chiusa o il relè di flusso è difettoso, la luce di protezione sarà sempre su.

(3) aprire l'alta pressione, alta pressione sarà raggiungere più di 10KV, regolare il fascio a circa 200mA, la griglia di protezione è 20V / 100mA, filamento 1.2 a corrente, la corrente di deflessione swing 1 ~ 1.7.

3. sequenza di arresto della macchina di rivestimento sotto vuoto

(1) spegnere il misuratore vestito e pompa molecolare.

(2) quando la pompa molecolare Mostra fino a 50, la valvola per alto vuoto, supporto pompa e pompa meccanica sono chiusi in sequenza. Probabilmente ha bisogno di 40 minuti.

(3) quando la pompa molecolare Mostra meno di 50, chiudere la pompa della holding.