Aspirazione della pompa di adsorbimento a bassa temperatura, migliorare il vuoto della camera

1) Aspirazione della pompa di adsorbimento a bassa temperatura, migliorare il vuoto della camera: la pompa di adsorbimento a bassa temperatura è l'uso di carbone attivo o setaccio molecolare e altri adsorbenti, a bassa temperatura ha una forte capacità di assorbire il gas per ottenere il vuoto. La struttura della pompa è semplice, nessuna vibrazione, la pompa e lo spazio pompato possono essere molto vicini e la velocità di pompaggio. La pompa di adsorbimento può aspirare elio, idrogeno, neon e altri gas. Dopo la saturazione dell'adsorbente, l'adsorbente può essere rigenerato riscaldando e decomprimendo.

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