Principali problemi del sistema sottovuoto della pompa a diffusione dell'olio

Principali problemi del sistema del vuoto della pompa a diffusione dell'olio

Fonti inquinanti del sistema per vuoto della pompa a diffusione dell'olio:
(1) il riflusso del vapore d'olio nella pompa di diffusione. Questa è la fonte di inquinamento più significativa.
(2) Le parti del sistema devono essere tenute per mano con olio durante il montaggio. Utilizzare guanti unti poiché le molecole organiche appiccicose possono contaminare il sistema.
(3) riflusso dell'olio nella pompa meccanica del precedente paraolio della fase. Questo problema è anche molto serio, quando la pressione di ingresso è più alta, nella zona di transizione (1 ~ 10-1Pa) pressione, il vapore dell'olio della pompa meccanica può entrare direttamente nella pompa di diffusione, inquinando direttamente il sistema. Gran parte dell'inquinamento del processo del vuoto deriva dal ritorno meccanico della pompa. Quando la pompa meccanica viene fermata, se l'atmosfera non viene immessa nella pompa in tempo, l'olio della pompa meccanica può essere riportato direttamente nella coppa dell'olio della pompa a diffusione. Quando la pompa di diffusione viene avviata, l'inquinamento dell'impianto è più grave.
(4) inquinamento causato dal rilascio di materiali di tenuta nel sistema di scarico. In particolare, anche gli anelli di tenuta in gomma artificiale, il grasso di tenuta, l'olio lubrificante, ecc., causano un forte inquinamento.
(5) Quando la pompa viene fermata e l'atmosfera viene rilasciata, le parti del vuoto rimangono bloccate con vapore acqueo e nerofumo nell'aria, causando inquinamento al sistema del vuoto

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