Parte della dotazione di rivestimento

L'attrezzatura moderna rivestimento è principalmente composta di camera a vuoto, vuoto acquisizione parte, parte di misurazione del vuoto, parte elettrica di potenza, sistema di input gas di processo, trasmissione meccanica, riscaldamento e temperatura unità di misura, evaporazione ionico o Sputtering di fonte e raffreddamento ad acqua.

1. sottovuoto

L'apparecchiatura di rivestimento principalmente ha linea di produzione continua di rivestimento e macchina di rivestimento monocamera in due forme, grazie al rivestimento di stampo con requisiti più elevati per il riscaldamento e parti meccaniche della trasmissione e la forma di muffa, dimensioni variano ampiamente, continuo linea di produzione di rivestimento è solitamente difficile da soddisfare requisiti, per essere usate monocamera spalmatrice.

2. parte di acquisizione vuoto

A causa dei requisiti di elevata aderenza del rivestimento delle parti dello stampo, il processo di rivestimento prima il vuoto di sfondo è preferibilmente superiore 6mPa, e il grado di vuoto può raggiungere 0.06mPa o più dopo il rivestimento processo è completato, in modo che il vuoto è correttamente selezionato per conseguire l'elevato grado di vuoto è essenziale.

Fino ad ora, non c'è un tipo di pompa che può funzionare da pressione atmosferica al vicino ultra alto vuoto. Pertanto, l'acquisizione di vuoto non è un dispositivo vuoto e metodo può essere raggiunto, deve essere combinata con diverse pompe, quali pompa meccanica, sistema di pompa molecolare, ecc.

3. parte di misura vuoto

La parte di misurazione del vuoto del sistema del vuoto è di misurare la pressione nella camera a vuoto. Come una pompa a vuoto, misuratore di vuoto in non grado di misurare l'intera gamma di vuoto, e molti tipi di vacuometri sono realizzati secondo i requisiti e principi diversi.

4. parte di alimentazione di potenza

L'alimentazione di destinazione comprende principalmente DC alimentazione e alimentazione di frequenza intermedia; stesso pezzo ha bisogno solitamente DC alimentazione, alimentatore di impulso o radio frequenza di alimentazione.

5. processo gas sistema di input

Il gas di processo, come l'argon (Ar), cripto (Kr), azoto (N₂), acetilene (C₂H₂), metano (CH₄), idrogeno (H₂) e ossigeno (O₂), generalmente vengono forniti da bombola del gas e poi passare nella camera del vuoto valvola a globo, valvola, valvola solenoide, tubo, misuratore di portata gas, valvola piezoelettrica di riduzione della pressione di gas.

Il vantaggio di questo sistema di input di gas è che la pipeline è semplice, leggero e facile da riparare o sostituire il cilindro. Ogni macchina di rivestimento non influenzano a vicenda, e ci sono anche una serie di macchine di rivestimento condivisione di un gruppo di cilindri, che può essere utilizzato in alcuni più grandi laboratori di rivestimento. Presenta i vantaggi di ridurre l'importo della bombola del gas, pianificazione unificato, layout unificato e lo svantaggio è che la probabilità di perdite di gas è aumentata a causa dell'aumento del giunto.

Ogni macchina di rivestimento interferirà con l'altro, e la perdita di una macchina di rivestimento può influenzare la qualità di altre macchine di rivestimento. Inoltre, quando si sostituisce il cilindro, deve essere garantire che tutte le unità principali non vengono utilizzate.

6. parte meccanica trasmissione

Il rivestimento dell'utensile richiede uno spessore uniforme intorno, quindi ci deve essere tre rotazioni della verniciatura per soddisfare i requisiti. Vale a dire, mentre la tabella di grande pezzo in lavorazione è necessaria per ruotare, la tabella di piccolo pezzo ruota anche, e stesso pezzo può ruotare allo stesso tempo. Nella progettazione meccanica, la parte centrale del giradischi è solitamente un grande ingranaggio attivo, che è circondato da alcuni piccolo ruota a stella, e quindi la forcella viene usata per ruotare il pezzo per ruotare.

7. riscaldamento e unità di misura della temperatura

Quando il processo di rivestimento della muffa, affinché il pezzo di rivestimento essere riscaldata uniformemente è molto più importante di riscaldamento rivestimento decorativo. Attrezzature per rivestimento stampo ha generalmente due riscaldatore, misura di temperatura della termocoppia e controllo. Dovuto il proiettore di termocoppia per le diverse impostazioni, le letture di temperatura non possono essere la vera temperatura del pezzo. Per misurare la vera temperatura del pezzo, il termometro di superficie (superficie Thermomeer) può essere utilizzato. Il principio del termometro è che quando il termometro viene riscaldato, il fondo della molla sarà riscaldata per espandere, affinché il puntatore per promuovere la rotazione posizionamento del puntatore finché la temperatura massima. Quando il raffreddamento, la molla si restringe e il puntatore del mouse ruota inverso, ma il puntatore di posizionamento soggiorni alla massima temperatura e la temperatura del puntatore viene letta dopo l'apertura della porta della camera a vuoto quando la camera a vuoto viene riscaldato, la posizione di il termometro di superficie ha raggiunto il più alto valore di temperatura.

8. ionico evaporazione o fonte di sputtering

La placcatura di arco evaporazione multi sorgente è generalmente circolare, comunemente noto come destinazione torta rotonda, negli ultimi anni che ci sono stati molti rettangolare multi-arco target, ma nessun effetto evidente. L'obiettivo di torta rotonda è montato sul sedile del bersaglio di rame (la sede di catodo), entrambi i quali sono collegati dalla nervatura. La sede di destinazione è dotata di un magnete, spostando il magnete avanti e indietro, cambiando la resistenza del campo magnetico, arco regolabile spot movimento velocità e traiettoria. Al fine di ridurre la temperatura del bersaglio e il supporto di destinazione, l'acqua di raffreddamento deve essere continuamente alimentato al titolare della destinazione. Al fine di garantire l'alta conducibilità e la conducibilità termica tra la destinazione e la porta di destinazione, la guarnizione dello stagno (Sn) possa essere aggiunti tra l'obiettivo e l'obiettivo.

9. sistema di raffreddamento di acqua

Al fine di aumentare il tasso di ionizzazione degli atomi del metallo, ogni destinazione del catodo è uscita una grande potenza e pertanto deve essere sufficientemente raffreddato. Molti tipi di rivestimento di muffa, la temperatura di riscaldamento è di 400 ~ 500℃, pertanto, sul muro di camera a vuoto, il raffreddamento superficiale tenuta è anche molto importante, così l'acqua di raffreddamento è meglio utilizzato nel refrigeratore d'acqua di circa 18 ~ 20℃.

Dopo la porta sono stati aperti, al fine di impedire la parete di camera a vuoto di bassa temperatura, catodo target e precipitazioni di contatto aria calda dell'acqua, aprire la porta nei primi 10 minuti, il sistema di raffreddamento dovrebbe passare allo stato di acqua calda, temperatura dell'acqua calda è circa 40 ~ 45℃.