Prestazioni e vantaggi di una turbina pompa molecolare

Pompa turbomolecolare è l'uso di alta velocità di rotazione della girante movimento di passare lo slancio per le molecole del gas, il gas generato flusso direzionale dellapompa per vuoto. Principalmente componenti dal corpo della pompa, il rotore con la lama (cioè movimento girante), girante statico e sistema di azionamento pompa turbo molecolare.

Vantaggio

Come pompa molecolare del turbo in alcuni aspetti, è meglio che la pompa criogenica, le prestazioni della pompa di pompa e la diffusione di ioni sono superiore. Pertanto, nel caso generale, più uso di pompe turbo.

Riflusso di vapore pulito, privo di olio (1)

Pompa turbomolecolare è in grado di operare senza alcun bene e operare secondo le regole di funzionamento, che possono fornire un ambiente pulito sottovuoto per il contenitore pompato e non contengono alcun idrocarburi.

(2) conveniente utilizzare

In molte applicazioni, turbopompe non possono esigere valvole per alti vuoto o valvole per vuoto grezzi. Basta premere il pulsante, la pompa può iniziare a lavorare, dalla pressione atmosferica può essere ridotto alla pressione finale. Il sistema può essere grossolana-pompato da pompe molecolari turbo e può essere accelerato fino a velocità di funzionamento. Questo elimina la necessità di controlli delle valvole, valvole, tubi, trappole e altri componenti per il vuoto. Esso elimina anche il fallimento di questi componenti.

(3) capacità di trasporto di Gas forte

La maggior parte delle pompe molecolari turbo hanno una forte capacità di fornire gas leggeri come idrogeno ed elio, che li rende ideali per le operazioni di processo sotto vuoto ultraelevato. Una pompa turbomolecolare appositamente progettata per la rimozione di gas corrosivi è adatta per incisione, acquaforte reattiva dello ione, ione fascio lavorazione, deposizione chimica da vapore bassa pressione, epitassia e ion processi di impianto. Durante i processi, il gas evacuato può corrodere criogeniche pompe, pompe ioniche, olio della pompa a diffusione e addirittura distruggere le pompe molecolari standard turbo non protetti. Come la pompa turbo molecolare appartiene alla pompa di trasmissione, il gas pompato non sarà accumulato nella pompa, quindi è adatto per il processo di carico elevati del gas.

(4) adatto per Ultra alte vuoto applicazioni

Una pompa turbomolecolare buona per sigillatura e degasaggio è dotata di pompa rotativa bistadio con buone prestazioni (o la stessa pre-pompa asciutto di prestazioni). L'ultimo vuoto può raggiungere 10^-9a 10^-10Torr (133.3 a 13,33 nPa). Se una pompa turbomolecolare è collegata ad un'altra pompa turbomolecolare utilizzando una metallo-sigillato e ben degassata pompa, la pressione finale è in genere 1 × 10^-10a 1 × 10^-11Torr (13,33 a 1,333 nPa) tra. E a differenza di pompe criogeniche o pompe ioniche, pompe molecolari turbo funzionano a piena velocità di pompaggio in condizioni di vuoto ultra-alte.

(5) buona prestazione ad alta pressione

La pressione di ingresso di alcune pompe molecolari turbo può essere eseguito tra 10^-1e 10^-3Torr (13,33 Pa a 133,3 mPa). In questa gamma di pressione, la pompa dello ione non può essere utilizzata, per la necessità di pompa criogenica limitare la velocità di pompaggio o rigenerazione normale, e il lavoro della pompa di diffusione diventerà instabile.

(6) breve tempo di ciclo

La maggior parte del turbo molecolare pompe, uno particolare più piccolo, di solito bisogno di 1 ~ 3 minuti per raggiungere la velocità di marcia normale. Pompe per diversi tipi e modelli sono diverse e possono essere arrestate immediatamente e possono essere esposto all'atmosfera.

(7) normale uso per lungo tempo

In alcune applicazioni, il tempo di impiego normale della pompa turbo molecolare è superiore a quella di altre pompe. A causa del carico pesante gas e valvola di fuoriuscita, causerà la rigenerazione di intervallo spesso variabile pompa criogenica o pompa ionica spesso riparare e pompa turbo-molecolare può anche essere utilizzato per eliminare la contaminazione di olio pompa della camera del vuoto.