Metodo di pre-pulizia PVD 2 pulizia con bombardamento ionico
Jul 02, 2021| Metodo di pre-pulizia PVD 2
Metodo di pulizia: metodo di pulizia con bombardamento ionico
Scopo della pulizia: rimuovere sporco superficiale e adsorbenti
Mezzi di pulizia: bombardamento ionico
Processo di pulizia: il substrato viene posto in una camera a vuoto di 10~1000Pa e viene applicata un'alta pressione di 0,5~1kV per generare una scarica a bagliore a bassa energia e quindi gli ioni positivi accelerati bombardano la superficie del substrato.
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