La composizione della macchina di rivestimento per evaporazione del fascio di elettroni
May 02, 2020| La composizione della macchina di rivestimento per evaporazione del fascio di elettroni
La macchina di rivestimento per evaporazione del fascio di elettroni è costituita principalmente da un sistema di controllo, un vero sistema di percorso dell'aria e un sistema di pistola elettronica. 1. Ci sono due pompe nel percorso dell'aria del vuoto del vero percorso dell'aria della macchina di rivestimento per evaporazione del fascio di elettroni, vale a dire la pompa meccanica dello stadio anteriore e la pompa criogenica ad alto vuoto, tra le quali la funzione della pompa criogenica è principalmente attraverso la temperatura molto bassa, secondo all'adsorbimento originale dell'ombrello freddo per raggiungere lo scopo del vuoto. Nel processo di avvio della pompa per alto vuoto a bassa temperatura, il livello della pompa meccanica sarà prima della tubazione in uno stato di vuoto, quando la tubazione del vuoto raggiungerà una certa misura, la valvola di buon auspicio si aprirà, questo livello prima che la pompa meccanica continui per funzionare, fare in modo che il tubo e la pompa a bassa temperatura abbiano uno stato di vuoto, quindi una ex valvola a stadio sta ripetendo i passaggi precedenti. {{2}}. Sorgente di riscaldamento e evaporazione del fascio di elettroni la sorgente di evaporazione del fascio di elettroni è composta principalmente da pistola elettronica e crogiolo. Se necessario, è possibile collegare una serie di attrezzature meccaniche in grado di fornire materie prime per la macchina di rivestimento. Nella maggior parte dei casi, il dispositivo di controllo che produce e controlla il fascio di elettroni e il design del crogiolo saranno integrati nella macchina di rivestimento. Di seguito sono riportate diverse strutture delle fonti di riscaldamento ed evaporazione del fascio di elettroni. L'evaporatore riscaldato da catodo lineare e messa a fuoco elettrostatica. (2) l'evaporatore riscaldato dal catodo anulare e dalla messa a fuoco elettrostatica. L'evaporatore riscaldato con pistola assiale e messa a fuoco elettrostatica a distanza. L'evaporatore riscaldato da una pistola assiale, una messa a fuoco magnetica e una deflessione magnetica di 90 gradi. Evaporatore a pistola di tipo E, la sorgente di evaporazione del fascio di tipo E emessa dalla traiettoria elettronica è simile alla quotazione 0010010 ; E 0010010 ; parola, quindi viene indicato come E gun. Allo stato attuale, questa forma di sorgente di evaporazione è ampiamente utilizzata nell'evaporazione sotto vuoto e nel processo di rivestimento.
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