La durezza del film DLC
May 23, 2024| La durezza della pellicola DLC preparata con il metodo dell'arco catodico con filtro magnetico (FVCA) è simile a quella della pellicola di diamante. La durezza della pellicola DLC preparata con il metodo dell'arco catodico sotto vuoto (VCAD) è superiore a HV5000. La durezza della pellicola DLC preparata mediante sputtering con magnetron è generalmente inferiore a HV2000. Inoltre, il processo di deposizione e il drogaggio influiscono anche sulla durezza della pellicola DLC. Polarizzazione, pressione e atmosfera adeguate possono migliorare la durezza della pellicola DLC a diversi livelli. La maggior parte degli esperimenti mostrano che il doping può ridurre la durezza della pellicola DLC a vari livelli, ma alcune persone pensano che incorporando Si possa migliorare la durezza della pellicola DLC. La pellicola DLC presenta generalmente un grande stress interno. Lo stress interno non è legato solo alla struttura e ai componenti della pellicola DLC, ma ha anche un'ottima relazione con il processo di formazione della pellicola. Ad esempio, nella pellicola H-DLC, lo stress interno ha un ottimo rapporto con il contenuto di H. Pur mantenendo l'elevata durezza della pellicola DLC, l'incorporazione di N, Si e alcuni elementi metallici può ridurre lo stress interno. Lo stress interno influenza notevolmente le proprietà di legame della pellicola DLC e del substrato. Quando la pellicola DLC viene depositata direttamente sul substrato, la forza legante della pellicola è generalmente scarsa. Più sottile è la pellicola DLC, migliore è la forza legante tra la pellicola e il substrato. Inoltre, l'adesione della pellicola DLC può essere migliorata aggiungendo uno strato di transizione tra la pellicola DLC e il substrato. Se si utilizza Cr come strato di transizione, il legame tra la membrana e il substrato viene notevolmente migliorato. Diverse coppie seminterrate di strati di transizione differiscono.
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