Il confronto principale tra elaborazione del fascio di elettroni e tecnologia di elaborazione del fascio di ioni

Il principio   confronto tra elaborazione del fascio di elettroni e tecnologia di elaborazione del fascio di ioni

L'elaborazione del fascio di elettroni è in condizioni di vuoto, utilizzando un'alta densità di energia del fascio di elettroni, dopo essersi focalizzato sull'impatto ad alta velocità sulla superficie minima, in un tempo molto breve (entro una frazione di microsecondi), la maggior parte della sua energia in energia termica , perché l'impatto del materiale del pezzo ha raggiunto più di qualche migliaio di gradi Celsius, causando così la parziale fusione e vaporizzazione dei materiali, da parte del sistema del vuoto. È possibile raggiungere diversi scopi di elaborazione controllando la densità di energia del fascio di elettroni e il tempo di iniezione di energia. Il trattamento termico a fascio di elettroni può essere effettuato se il materiale viene riscaldato localmente. La saldatura a fascio di elettroni può essere eseguita fondendo parzialmente il materiale. Aumentando la densità di energia del fascio di elettroni, il materiale viene fuso e gassificato, in modo che possa essere perforato, tagliato ed elaborato. La litografia a fascio di elettroni può essere utilizzata per produrre cambiamenti chimici quando il fascio di elettroni a bassa densità di energia viene utilizzato per bombardare materiali fotosensibili ai polimeri.

L'elaborazione del fascio di ioni è simile all'elaborazione del fascio di elettroni in quanto il raggio di ioni generato dalla sorgente di ioni viene accelerato per mettere a fuoco in condizioni di vuoto, provocando il colpo sulla superficie del pezzo. Diverso è gli ioni caricati positivamente e la sua qualità migliaia, decine di migliaia di volte più grande dell'elettronica, come la qualità dello ione argon è 72000 volte quella dell'elettrone, quindi una volta che lo ione accelera ad alta velocità, il fascio di elettroni del fascio di ioni ha un impatto maggiore energia cinetica, è fare affidamento sull'energia di impatto micro-meccanico, piuttosto che trasformata dall'energia cinetica in energia termica. La base fisica dell'elaborazione del raggio ionico è l'effetto dell'impatto, l'effetto sputtering e l'effetto di iniezione quando il raggio ionico colpisce la superficie del materiale. Quando gli ioni con una certa energia cinetica si inclinavano sulla superficie del pezzo in lavorazione, gli atomi sulla superficie potevano essere eliminati. Se il pezzo viene utilizzato direttamente come bersaglio del bombardamento ionico, la superficie del pezzo verrà incisa con ioni. Se il pezzo viene posizionato vicino al materiale target, gli atomi del materiale target si spargeranno sulla superficie del pezzo e verranno depositati e adsorbiti mediante sputtering, in modo che la superficie del pezzo venga rivestita con un rivestimento di atomi del materiale target. Se l'energia ionica è abbastanza grande da colpire la superficie del pezzo in verticale, gli ioni foreranno la superficie del pezzo, che è l'effetto dell'impianto di ioni.

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