Sistema ad altissimo vuoto

Sistema ad altissimo vuoto

Un sistema di trappola fredda della serie di pompe meccaniche della serie di pompe a diffusione
La figura 5-13 mostra il sistema del vuoto, la trappola fredda per azoto liquido della serie due della pompa di diffusione, mentre la camera del vuoto e la trappola fredda 6 possono resistere a una cottura a 400 ~ 450 gradi. A questa temperatura, il gas adsorbito sulla parete della camera a vuoto e sulla parete della trappola fredda, nonché l'olio condensato della pompa, possono essere rimossi. Il sistema può generalmente ottenere un vuoto limite di 1,33×10-7Pa.

▲ Figura 5-13 Sistema per vuoto ultra-alto della pompa a diffusione dell'olio: 1- Camera del vuoto 2- Vacuometro termocoppia 3- Vacuometro BA 4- Valvola di spurgo {{7} } Valvola per ultra-alto vuoto 6,7- trappola fredda 8- vacuometro a ionizzazione 9- Pompa a diffusione 10- valvola del tubo anteriore 11- trappola anteriore 12- Elettrovalvola 13- Pompa meccanica 14- Valvola per tubi ad altissimo vuoto 15- Dispositivo di cottura

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