Qual è il processo specifico di accumulo di luminanza nel principio di sputtering magnetron Come è Ar gas ionizzato
Apr 22, 2020| Qual è il processo specifico di accumulo di luminanza nel principio di sputtering magnetron? Come viene ionizzato il gas Ar?
Sotto l'azione di una tensione applicata tra gli elettrodi positivi e negativi, gli atomi di gas tra gli elettrodi saranno ionizzati. Nel processo di ionizzazione, alcuni atomi di Ar sono ionizzati in ioni ed elettroni di Ar. Gli elettroni vengono accelerati verso l'anodo dal campo elettrico, e gli ioni di Ar s caricati positivamente accelerano verso il bersaglio catodo sotto l'azione del campo elettrico, e rilasciano l'energia corrispondente nella collisione con la superficie bersaglio. Uno dei risultati dell'impatto degli ioni con una certa energia sul bersaglio è che gli atomi sulla superficie bersaglio guadagnano una certa energia e lasciano che la superficie bersaglio si muova verso il substrato. Nel processo di sputtering, ci sono altre particelle di traccia, tra cui l'emissione di elettroni secondari da catodo.
Questa è una scarica di gas, e la tensione è di solito nei kilovolt superiori. Ma lo sputtering magnetron è diverso,
Durante lo sputtering magnetron, c'è un campo magnetico sulla superficie del bersaglio, quindi gli elettroni possono essere legati intorno al bersaglio senza essere persi, formando un fenomeno di scarico autosufficiente, e la tensione diminuisce naturalmente a diverse centinaia di volt. Durante la scarica autosufficiente, la maggior parte della ionizzazione dell'argon è causata dal bombardamento di elettroni liberi.
e- - Ar ,Ar, 2e-
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