Analisi della capacità di portanza del potere dei bersagli di Sputtering del magnetron
May 24, 2018| 1. Area di destinazione e campo di potenza del carico
(1) La densità di potenza del bersaglio di magnetron planare circolare è generalmente 1 ~ 25w / cm 2
(2) La densità di potenza del bersaglio rettangolare del magnetron planare è 1 ~ 36w / cm 2
(3) La densità di potenza del bersaglio col magnetron colonnare e il bersaglio conico del magnetron planare (pistola S) è generalmente 40 ~ 50w / cm 2 .
2. Potenza di trasporto effettiva del bersaglio del magnetron
Oltre alla tecnologia di sputtering e ai requisiti di qualità del film, anche la reale portata del bersaglio del magnetron è strettamente correlata alle condizioni di raffreddamento e alle condizioni di dissipazione del calore del bersaglio.
Gli obiettivi del magnetron possono essere suddivisi in due tipi: "obiettivo diretto di raffreddamento ad acqua" e "obiettivo indiretto di raffreddamento ad acqua" in base al metodo di raffreddamento.
Considerando l'invecchiamento del target dopo l'uso a lungo termine, le sue condizioni di dissipazione del calore sono scarse e si prendono in considerazione diversi coefficienti di trasferimento termico di diversi materiali target, la potenza di carico finale del target del magnetron e la potenza massima effettiva del target diretto di raffreddamento ad acqua può essere impostato leggermente inferiore al limite superiore della gamma di densità di potenza. E il carico massimo effettivo del target indiretto di raffreddamento ad acqua può essere impostato a circa metà del limite superiore dell'intervallo di densità di potenza.
Quando i bersagli di magnetron (principalmente Cu, Ag, Brass e Al bronze) "auto-sputtering", in genere utilizzano un bersaglio di sputtering di magnetron specificamente progettato per "dirigere l'acqua fredda". La massima potenza di trasporto per l'utilizzo deve essere maggiore del limite superiore del range di densità di potenza target.