Breve introduzione del sistema di sputtering e sistema di controllo del rivestimento PVD
Feb 10, 2018| 
Sistema Sputtering
Il sistema di sputtering è il cuore del rivestimento PVD, che consiste di obiettivi , alimentazione di riferimento e gas speciale. Esistono molti tipi di alimentatori target e vengono in diverse varietà come di seguito:
1. In base alla modalità di uscita , sono disponibili alimentazione DC, alimentazione CA (sinusoidale, onda quadra), alimentazione a impulsi e alimentazione a impulsi sovrapposti CC ;
2. Secondo la frequenza di uscita , ci sono alimentazione DC, alimentazione a bassa frequenza e alimentazione a media frequenza ;
3. Secondo il potere , ci sono a bassa potenza, media potenza, alta potenza e super-alimentazione;
4. Secondo la modalità di controllo , ci sono alimentazione di corrente costante, alimentazione a tensione costante e alimentazione costante.
Sistema di controllo
Il sistema di controllo è l'anima dell'intero dispositivo, controlla il funzionamento dell'intero sistema. Sistema di controllo costituito da sistema operativo software, sistema di acquisizione dati, sistema di analisi dei dati e sistema di trasmissione esecutive e così via. Tra questi, il sistema di raccolta dati raccoglie, flusso (vapore), pressione del vuoto, velocità del motore, posizione della valvola e altre informazioni. Inoltre, il sistema operativo software e il sistema di analisi dei dati sono PLC nella maggior parte dei casi. Inoltre, il sistema di trasmissione direzionale è composto da vari relè, contattori, elettrovalvole, interruttori, ecc.