Storia dello sviluppo della storia di sviluppo della pompa molecolare
May 23, 2018| 1. Early Molecular Pump
Nel 1912, un tedesco di nome W.Gaede inventò la prima pompa molecolare al mondo, il diametro del suo rotore è di 50 mm e ci sono 8 slot di diverse dimensioni sui rotori. La velocità di rotazione è di 12.000 giri / min e la velocità di pompaggio è di circa 1.5 l / s. Il principio di funzionamento di questa pompa precoce è lo stesso di quello della moderna pompa molecolare, ma è rapidamente eliminato a causa di un sacco di guasti quindi non è stato reso popolare.
Nel 1926, M. Siegbahn sviluppò una pompa molecolare a disco nel laboratorio universitario in Svezia. La sua struttura è simile a quella della moderna pompa molecolare a trascinamento. Il corpo della pompa ha scanalature a spirale e il rotore è un disco. Nel 1939, LE BOLD produsse due pompe con un diametro di 540 mm. Le dimensioni della scanalatura sono 22 mm x 22 mm all'interno e 22 mm x 1 mm all'esterno. La velocità di rotazione è 3.700r / min e la velocità di pompaggio è 73L / s.
Le prime pompe molecolari sono tutte pompe di tipo molecolare a trazione. Con gli svantaggi di grandi volumi, basse velocità di pompaggio, piccoli spazi vuoti e molti errori, è soggetto a molte restrizioni nell'applicazione e pertanto può essere utilizzato solo in alcuni campi speciali e non è stato reso popolare.
2. La nascita delle pompe turbomolecolari
Nel 1957, W. Becker della PFEIFFER GmbH in Germania inventò una nuova pompa molecolare, chiamata pompa turbomolecolare. La struttura orizzontale e la cavità della pompa sono dotate di file di pale dinamiche e statiche. Il gas entra attraverso la porta di aspirazione al centro della pompa e scorre attraverso il canale di aspirazione su entrambi i lati del corpo della pompa. L'aria compressa viene scaricata dalla porta di scarico dopo essere stata compressa dall'array di foglie. Il rotore di questa pompa turbomolecolare è composto da 19 file di lame. Come mostrato in Fig. 2, il diametro è di 170 mm, la velocità di rotazione è di 16.000 giri / min e la velocità di pompaggio è di 140 l / s.
Nel 1966, la SENCMA Corporation in Francia ha sviluppato una pompa turbomolecolare verticale a 14 pale, il diametro del rotore è 286 mm, la velocità di rotazione è di 12.000 giri / min e la velocità di pompaggio è di 650 l / s, che crea il pioniere verticale della pompa turbomolecolare.
Ci sono molti produttori di pompe molecolari in Giappone con una forte capacità di progettare e produrre pompe molecolari. Nel 1971, l'Istituto di Ricerca Fisica e Chimica del Giappone ha sviluppato con successo una pompa molecolare a 13 lame rotanti a palette e una pompa molecolare rotativa a 12 palette rotative a palette, il diametro del rotore è 300 mm e la velocità di rotazione è 12.000 giri / min. Nel 1990, la giapponese Osaka Vacuum Company ha sviluppato con successo una pompa molecolare su larga scala con una velocità di pompaggio di 25.000 L / s.
Allo stato attuale, la struttura di base delle moderne pompe molecolari è orizzontale e verticale. La pompa molecolare orizzontale presenta i vantaggi della forza uniforme del rotore, lo stato di forza di posizionamento del cuscinetto, la lunga durata, la posizione del rotore fisso durante la sostituzione del cuscinetto e la facilità di manutenzione. Ma il processo di assemblaggio della pompa molecolare verticale è più semplice della pompa molecolare orizzontale, quindi la velocità di sviluppo della pompa molecolare verticale negli ultimi anni è molto veloce.
3. Pompa molecolare moderna
Dalla nascita della pompa molecolare, c'è stata una storia di quasi cento anni. Con il continuo progresso di varie scienze e tecnologie, la tecnologia delle pompe molecolari ha anche apportato molte innovazioni e innovazioni. La moderna pompa molecolare è più intelligente, flessibile ed efficiente.
Negli ultimi anni, con il rapido sviluppo della teoria del controllo e della tecnologia informatica e applicato alle pompe molecolari, le pompe molecolari sono state controllate da computer e hanno realizzato il controllo remoto della pompa. Allo stesso tempo, sulla base della tecnologia dell'informazione, i sistemi di sicurezza e monitoraggio hanno portato allo sviluppo di pompe molecolari nella direzione dell'intelligenza.
La velocità di pompaggio è il parametro principale della pompa molecolare. Aumentare la velocità di rotazione è uno dei metodi più diretti per aumentare la velocità di pompaggio. Con lo sviluppo della tecnologia di bilanciamento dinamico, il rotore della pompa molecolare può funzionare agevolmente a velocità ultraelevata. E con lo sviluppo della scienza dei materiali, anche il materiale del rotore della pompa molecolare è cambiato, può essere realizzato in lega di alluminio dura, fibra di carbonio, lega di titanio e altri materiali ad alta durezza, che ha ulteriormente migliorato la velocità di rotazione del rotore.
Negli ultimi anni, con lo sviluppo dell'industria dei semiconduttori, la pompa molecolare è necessaria per scaricare continuamente una grande quantità di gas in un ambiente ad alta pressione e garantire il vuoto pulito in molti casi. Le prestazioni delle pompe turbomolecolari tradizionali in questo ambiente sono diminuite molto ed è difficile garantire i risultati del progetto. Al fine di rendere la pompa molecolare adatta all'ambiente di lavoro ad alta pressione, la parte della pompa molecolare di trazione è aggiunta alla pompa turbo molecolare originale, e la pompa molecolare turbo e la pompa molecolare finale sono collegate in serie per formare una pompa molecolare composita ( come mostrato nella Figura 3) con i vantaggi sia della pompa turbo molecolare che della pompa molecolare finale.
Inoltre, negli ultimi anni sono emerse diverse pompe molecolari di nuova generazione, come pompe molecolari a bassa temperatura in grado di estrarre in modo efficiente molecole d'acqua, pompe molecolari ceramiche che possono operare in presenza di forti campi magnetici e forti condizioni di corrosione e pompe molecolari a sospensione magnetica. con vantaggi del supporto senza contatto, alta efficienza e alta durata.