Evaporazione con fascio di elettroni

L'evaporazione del fascio di elettroni è l'uso del riscaldamento del fascio di elettroni ad alta velocità per vaporizzare il materiale e condensarlo in una pellicola sulla superficie del substrato. La densità di energia della fonte di calore del fascio di elettroni può raggiungere 104-109w/cm2, che può raggiungere più di 3000 gradi, e può far evaporare metalli ad alto punto di fusione o materiali dielettrici come tungsteno, molibdeno, germanio, SiO2, AL2O3, ecc. La fonte di evaporazione del riscaldamento del fascio di elettroni ha due tipi di cannoni elettronici a cannoni diritti e cannoni elettronici di tipo E (ce ne sono anche circolari), il fascio di elettroni viene emesso dalla sorgente e il fascio magnetico la bobina di campo viene utilizzata per focalizzare e deviare il fascio di elettroni e il materiale della pellicola viene bombardato e riscaldato. I suoi vantaggi possono far evaporare qualsiasi materiale, ha un'elevata purezza del film, un'azione diretta sulla superficie del materiale, un'elevata efficienza termica. Svantaggi La struttura del cannone elettronico è complessa, costo elevato, la deposizione del composto è facile da decomporre, squilibrio del rapporto chimico.

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