Requisiti ambientali delle attrezzature per rivestimento PVD
Jan 20, 2018| Poiché la macchina di rivestimento sottovuoto lavora in condizioni di vuoto, l'apparecchiatura deve soddisfare i requisiti ambientali del vuoto.
Gli standard di settore specificati della macchina di rivestimento sottovuoto (comprese le caratteristiche tecniche generali delle apparecchiature di rivestimento sottovuoto, l'apparecchiatura di placcatura a ioni sottovuoto , l'apparecchiatura di rivestimento a sputtering sottovuoto e le apparecchiature di rivestimento di evaporazione sottovuoto) rendono tutti i requisiti chiari per l'ambiente. Solo soddisfacendo i requisiti ambientali delle apparecchiature per il rivestimento a vuoto è possibile ottenere buoni rivestimenti PVD.
I requisiti ambientali di un vuoto generalmente includono i requisiti dell'attrezzatura del vuoto sull'ambiente del laboratorio (o dell'officina) in cui si trova l'apparecchiatura del vuoto, come la temperatura e le particelle nell'aria. Così come il requisito di componenti o superfici esposte nel vuoto o in uno stato di vuoto. Questi due aspetti sono strettamente collegati. La qualità dell'ambiente circostante influisce direttamente sul normale utilizzo dell'attrezzatura per il vuoto e la camera del vuoto oi componenti nella camera sono puliti o non ha un impatto diretto sulle prestazioni dell'apparecchiatura. Se l'aria contiene molto vapore acqueo e polvere, nel caso in cui la camera del vuoto non sia pulita, non è adatta a pompare fuori l'aria che può corrodere il metallo, reagire con l'olio del vuoto o contenere particelle di polvere. Il vapore acqueo è una specie di gas condensabile, quando viene estratta una grande quantità di gas condensabile, la contaminazione dell'olio della pompa sarà più grave. Di conseguenza, il vuoto finale della pompa diminuirà e quindi comprometterà le prestazioni di pompaggio della pompa.
La polvere negli ambienti industriali è caratterizzata da polvere, aerosol e polvere. Polvere significa una raccolta di polvere o particelle solide. L'aerosol è un sistema materiale che galleggia nell'aria sotto forma di solidi o molecole liquide. Se il materiale è solido o liquido, qualsiasi particella può essere indicata collettivamente come particelle di polvere. Lo standard di pulizia dell'aria è determinato dalla dimensione delle particelle di polvere e quindi consente di personalizzare il livello della camera bianca.
Le normali condizioni delle apparecchiature per il rivestimento sotto vuoto, tra cui:
1. Temperatura ambientale: 10 ~ 30 ℃
2. Umidità relativa ≤ 70%
3. La temperatura di ingresso dell'acqua di raffreddamento non è superiore a 25 ℃
4. L'acqua di raffreddamento è acqua di rubinetto della città o acqua comparabile.
5. La tensione di alimentazione è 380V, trifase 50Hz o 220V, monofase 50Hz (determinato dal fabbisogno di apparecchi elettrici funzionanti), l'intervallo di fluttuazione della tensione è 342V ~ 399V o 198V ~ 231V, l'intervallo di fluttuazione della frequenza è 49 ~ 51Hz .
6. L'aria compressa richiesta, l'azoto liquido, la pressione dell'acqua calda e fredda, la temperatura e il consumo dell'apparecchiatura devono essere indicati nel manuale del prodotto.
7. L'ambiente circostante deve essere pulito e in ordine, l'aria non deve contenere la polvere o il gas che possono causare corrosione sulla superficie di apparecchi elettrici e altre parti metalliche o causare la conduttività elettrica delle parti metalliche.
Inoltre, il laboratorio o l'officina in cui si trova l'attrezzatura per il vuoto devono essere puliti con il pavimento in terrazzo o in legno. Per evitare che il gas scaricato dalla pompa meccanica inquini l'ambiente di laboratorio, il tubo di scarico (metallo e tubo di gomma) deve essere installato sulla porta di scarico della pompa per scaricare il gas fuori dalla stanza.
