Fattori che influenzano i risultati del rivestimento sputtering Magnetron
Feb 19, 2021| Fattori che influenzano i risultati del rivestimento di sputtering magnetron
1, viene determinata l'influenza della potenza di sputtering, nel caso di substrato e materiali di rivestimento, la selezione dei parametri di processo ha un grande impatto sul tasso di crescita e sulla qualità del rivestimento. Tra questi, l'impostazione del potere sputtering ha una grande influenza su entrambi gli aspetti.
2. L'influenza della pressione dell'aria: lo sputtering del magnetron viene effettuato ad alta velocità sotto bassa pressione, quindi è necessario migliorare il tasso di ionizzazione del gas e far formare il gas plasma. A condizione che la potenza di sputtering sia fissa, viene analizzata l'influenza della pressione dell'aria sullo sputtering del magnetron.
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