Influenza dei parametri del processo di sputtering del magnetron: temperatura di deposizione
Sep 05, 2024| Influenza dei parametri del processo di sputtering del magnetron: temperatura di deposizione
La temperatura di deposizione influenza anche le proprietà meccaniche dei rivestimenti quaternari (Cr, Ti, Al) N. Lin Jing et al. hanno adottato tecniche di deposizione composita di magnetron sputtering DC pulsato e di placcatura ionica ad arco per preparare rivestimenti quaternari (Cr, Ti, Al) N a 300 gradi e 400 gradi rispettivamente [62]. I risultati sperimentali mostrano che i rivestimenti (Cr, Ti, Al) N preparati a 400 gradi mostrano proprietà meccaniche e resistenza all'usura migliori rispetto a quelli preparati a 300 gradi. Con l'aumento della temperatura di deposizione, la capacità di diffusione atomica viene migliorata, il rivestimento è più denso e la reazione del nitruro è più adeguata, quindi la durezza del rivestimento (Cr, Ti, Al) N aumenta notevolmente. I risultati sperimentali mostrano inoltre che con l'aumento della temperatura di deposizione, il coefficiente di attrito e il tasso di usura del rivestimento si riducono e la durata di taglio dell'utensile di rivestimento aumenta. Questo perché la durezza del rivestimento aumenta con l'aumentare della temperatura di deposizione. Secondo la teoria di Archard, il fattore di attrito del rivestimento è inversamente proporzionale alla durezza, quindi il fattore di attrito del rivestimento è ridotto. Inoltre, quando la temperatura di deposizione è elevata, il rivestimento ha una maggiore resistenza alla deformazione elastica e alla deformazione plastica e una migliore resistenza ai danni, quindi non è facile rompersi durante il processo di attrito, il che contribuisce a ridurre il tasso di usura del rivestimento. rivestimento. Il rivestimento preparato a 400 gradi ha una maggiore durezza e tenacità e un fattore di attrito inferiore, il che contribuisce a prolungare la durata di taglio dell'utensile.
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