Gli argomenti richiedono attenzione quando si scelgono i target di rivestimento PVD

Quando si scelgono i bersagli, eccetto l'applicazione dei rivestimenti, devono essere considerati anche i seguenti aspetti:

◆ Il rivestimento che viene depositato dagli obiettivi dovrebbe avere una buona resistenza meccanica e stabilità chimica

◆ Il rivestimento depositato dagli obiettivi dovrebbe avere una buona forza di legame con il substrato. Altrimenti, i materiali di rivestimento con una buona forza di legame al substrato dovrebbero essere usati, e prima spruzzare e depositare una membrana basale e quindi preparare i rivestimenti desiderati.

◆ Poiché il rivestimento è formato da sputtering reattivo, i materiali di rivestimento devono essere facili da reagire con un gas e generare un film composto.

◆ In base alla premessa di soddisfare i requisiti prestazionali dei rivestimenti, minore è la differenza del coefficiente di dilatazione termica tra target e substrato, meglio è, in modo da ridurre l'influenza dello stress termico.

◆ L'obiettivo deve soddisfare i requisiti tecnici di purezza, contenuto di impurità, uniformità dei componenti, precisione di lavorazione e così via.