Gli argomenti richiedono attenzione quando si sceglie il target di rivestimento PVD

Oltre all'applicazione dei rivestimenti, è necessario considerare i seguenti aspetti quando si scelgono gli obiettivi giusti:

◆ Dovrebbe avere una buona resistenza meccanica e stabilità chimica dopo la formazione del film.

◆ Dovrebbe avere una buona forza di adesione con il substrato dopo la formazione del film target. In caso contrario, utilizzare un materiale filmico con buona adesione al substrato. Inizialmente, uno strato del film di fondo viene spruzzato e quindi viene depositato lo strato di film desiderato.

◆ I materiali del film utilizzati per la pellicola di reazione a spruzzo devono essere facilmente reagiti con il gas reattivo per formare film composti.

◆ In base alla premessa di soddisfare i requisiti di prestazione del rivestimento, minore è la differenza tra il coefficiente di dilatazione termica del target e il substrato, meglio è. In modo da ridurre l'influenza dello stress termico

◆ L'obiettivo selezionato deve soddisfare i requisiti tecnici di purezza, contenuto di impurità, uniformità dei componenti, precisione di lavorazione e così via.