Misure e metodi per ridurre lo stress interno del rivestimento DLC Ta-C
Dec 29, 2023| Misure e metodi per ridurre lo stress interno del rivestimento DLC ta-C
Sebbene alcuni pensino che la generazione di stress sia determinata dal meccanismo del processo di rivestimento, ciò è intrinseco, ma la ricerca mostra che è possibile utilizzare alcuni metodi efficaci per ridurre lo stress e migliorare l'adesione della pellicola. Esistono molti modi per ridurre lo stress del ta-C. Per ottenere film ta-C a basso stress e ad alta durezza, il lavoro principale è il seguente: film drogati con silicio, drogati con metalli, assistiti da fasci di ioni Ar+, film multistrato, ecc.
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