Campo di misurazione del vacuometro a ionizzazione a catodo caldo

Sebbene l'intervallo di misurazione del vacuometro a ionizzazione a catodo caldo possa raggiungere 10-2~10-11mbar, quando la pressione è troppo elevata, la relazione tra il flusso delle particelle e la pressione si discosta da quella lineare e tende alla saturazione. Per estendere il campo di misura, il vacuometro Pirani viene solitamente utilizzato nel punto di partenza della pompa (in caso di pressione eccessiva).

Inoltre, il limite inferiore di misurazione dei normali misuratori di vuoto a ionizzazione a catodo caldo è di circa 10-6Pa ordine di grandezza: quando l'anodo di gate viene bombardato con elettroni, vengono generati raggi X molli e si verifica l'emissione di fotoelettroni quando lo ione il collezionista riceve questo raggio. Poiché il fotone emesso dal collettore è equivalente agli ioni che raccoglie, nel circuito del collettore di ioni si forma una fotocorrente di fondo indipendente dalla pressione, che è rappresentata da una lettura della pressione di circa 10-6Pa quando misurata. Per eliminare l'effetto della fotocorrente di fondo ed espandere il limite di misurazione del vacuometro a ionizzazione a catodo caldo, del vacuometro a ionizzazione BA (il limite di misurazione può raggiungere 10-8Pa), del vacuometro soppressivo (teoricamente può raggiungere {{6} }Pa), vacuometro modulato (10-10Pa), vacuometro separato (10-11Pa) e così via.

Azienda IKS PVD, macchina per rivestimento decorativo, macchina per rivestimento per utensili, macchina per rivestimento DLC, macchina per rivestimento ottico, linea di rivestimento sotto vuoto PVD, il progetto chiavi in ​​mano è disponibile. Contattaci ora, invia un'e-mail a: iks.pvd@foxmail.com