Problemi comuni dell'apparecchiatura PECVD e misure di trattamento: mancata accensione
Jul 01, 2023| Cause e misure di trattamento per il mancato incandescenza:
(1) Se l'alimentazione RF è difettosa, controllare se l'uscita di potenza della sorgente RF è normale.
(2) Il volume di aspirazione del gas di reazione è piccolo, controllare se il flussometro del gas è normale, se normale, aumentare il volume di aspirazione per il test.
(3) la pulizia della piastra della cavità non è sufficiente, utilizzare un multimetro per misurare la resistenza di terra delle piastre superiore e inferiore della cavità, il valore normale dovrebbe essere superiore a decine di megaohm, se anormale, pulire la piastra della cavità.
(4) Se il circuito di adattamento RF è difettoso, controllare se la potenza riflessa della sorgente RF rientra nell'intervallo normale. Se è anormale, controllare se il condensatore e l'induttanza nel circuito corrispondente sono danneggiati.
(5) Il grado di vuoto è troppo scarso, controllare se il grado di vuoto della cavità è normale.
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