Impianto PVD Vacuum Coating Equipment Evaporation System
Nov 08, 2017| Il sistema di evaporazione per impianti di rivestimento sottovuoto PVD si riferisce principalmente alla parte che forma il film, la macchina di rivestimento PVD ha molti dispositivi di formazione del film, il rivestimento PVD ha riscaldamento a resistenza, sputtering RF, rivestimento ionico e altri modi.
I metodi di evaporazione per riscaldamento con rivestimento in PVD e evaporazione per cannone elettronico sono introdotti di seguito:
L'evaporazione della resistenza di rivestimento PVD in base alla sua struttura e al principio di funzionamento è la più utilizzata finora. Il rivestimento PVD è il metodo di evaporazione più diffuso e il rivestimento PVD è la modalità di evaporazione più lunga.
Il funzionamento del rivestimento PVD è:
La lastra in tungsteno rivestito in PVD formerà una barca, quindi verrà installata nel mezzo dei due elettrodi, riscaldare la conduzione al materiale di rivestimento PVD, quando il calore del tungsteno è superiore a quello del materiale di rivestimento PVD, materiali di sublimazione o evaporazione, rivestimento PVD a causa per l'operazione conveniente, struttura semplice, a basso costo. L'evaporazione del cannone elettronico con rivestimento PVD è la modalità di evaporazione più utilizzata finora. Il rivestimento PVD può far evaporare qualsiasi tipo di materiale di rivestimento PVD.
Il materiale di rivestimento nel crogiolo interno, rivestimento PVD sarà trasformato in sorgente di evaporazione a filamento, rivestimento PVD poiché il materiale del filamento è tungsteno, formando un rivestimento PVD a causa del fascio di elettroni, la temperatura del fascio di elettroni è molto elevata, il rivestimento PVD può fondere qualsiasi rivestimento materiali che fissano