Diverse sorgenti ioniche comunemente utilizzate nel rivestimento
Oct 18, 2018| · Diverse sorgenti ioniche comunemente usate nel rivestimento
Sebbene ci siano molti tipi di sorgenti di ioni, lo scopo non è altro che la pulizia in linea, migliorando la distribuzione di energia e la modulazione sulla superficie del rivestimento per aumentare l'energia del gas reattivo. La sorgente di ionizzazione può migliorare notevolmente la forza di adesione del film e della matrice e anche la durezza e la resistenza all'usura del film stesso possono essere migliorate. Se lo strato resistente all'usura dello strumento di placcatura è più grande in generale e l'uniformità dello spessore del film non è richiesta alta, è possibile utilizzare sorgenti di ioni con maggiore corrente ionica e più alto livello di energia, come la sorgente di ioni Hall o la sorgente di ionizzazione anodica.
La sorgente ionica dello strato anodico è simile al principio della sorgente di ioni Hall. In una stretta fessura circolare (rettangolare o circolare) viene applicato un campo magnetico rinforzato per ionizzare il gas di lavoro sotto l'azione di un anodo e nella direzione del pezzo. La sorgente di ionizzazione dello strato anodico può essere fatta per essere molto grande e lunga, particolarmente adatta per il rivestimento di pezzi di grandi dimensioni come il vetro da costruzione. Anche la corrente ionica della sorgente ionica a strato anodico è grande. Ma il flusso di ioni è più divergente e la distribuzione del livello di energia è troppo ampia. Generalmente applicabile a pezzi di grandi dimensioni, vetro, usura, pezzi decorativi. Ma l'applicazione del rivestimento ottico avanzato non è eccessiva.
La sorgente di ioni Kaufman è una prima applicazione della sorgente di ionizzazione. Appartiene a una sorgente di ioni di rete. Innanzitutto, il catodo genera plasma nella camera della sorgente ionica, quindi gli ioni vengono estratti dalla cavità del plasma da due o tre griglie di anodi. Questo tipo di sorgente ionica ha una forte direttività e una larghezza di banda dell'energia ionica concentrata, che può essere ampiamente utilizzata nel rivestimento sotto vuoto. Il rovescio della medaglia è che il catodo (spesso tungsteno) brucia rapidamente nel gas di reazione e che ci sono limiti al flusso ionico che possono essere scomodi per gli utenti che necessitano di grandi flussi ionici.
La sorgente di ioni Hall è un anodo in un forte campo magnetico assiale sotto la cooperazione della ionizzazione del gas di processo. Il forte squilibrio di questo campo magnetico assiale separa gli ioni del gas e forma il fascio ionico. Poiché il campo magnetico assiale è troppo forte, il fascio ionico della sorgente ionica da sala ha bisogno di ricostituire gli elettroni per neutralizzare la corrente ionica. La sorgente di neutralizzazione comune è il filamento di tungsteno (catodo).
Caratteristiche della sorgente di ioni Hall:
1. Semplice e durevole;
2. La corrente ionica è quasi proporzionale al flusso di gas e si può ottenere una grande corrente ionica;
3. Il filamento di tungsteno si trova generalmente a cavallo dell'uscita e l'impatto del fascio ionico viene rapidamente eroso, soprattutto per i gas reattivi, che devono essere sostituiti entro 10 ore. E ci sarà un po 'di inquinamento dal filamento di tungsteno. Per risolvere i difetti del filo di tungsteno. Esistono neutralizzatori di durata più lunghi come una piccola fonte di catodo cavo.
La sorgente di ioni Hall è la fonte di ionizzazione più diffusa.
Applicabile alle sorgenti ioniche IKS PVD.
Se la placcatura decorativa resistente all'usura, lo spessore del film e la necessità di una forte adesione del corpo e requisiti uniformi non sono elevati. La sorgente di ioni Hall è disponibile. La corrente ionica è grande e il livello di energia ionica è alto. Se è rivestito con pellicola ottica, i requisiti principali della concentrazione di energia di corrente ionica, uniformità della corrente ionica. Pertanto, è preferibile utilizzare la sorgente di ioni Kaufman o RF e l'uso condizionale della sorgente ionica ECR (elettron ciclotrone) o ICP (accoppiamento induttivo). Inoltre, considerare i materiali di consumo, come i cavi alogeni che si bruciano nel gas di reazione in circa 10 ore. Fonti ioniche avanzate come ICP possono funzionare in modo continuo in gas reattivi per centinaia di ore.
Pellicole di alluminio a lampada rivestita. Dal momento che si tratta di un film di metallo, ovviamente, lo sputtering a magnetron DC è buono. La velocità è veloce. La frequenza intermedia è adatta per rivestire il film composto. Se si sceglie una sorgente di ionizzazione, è sufficiente una sorgente di ioni Hall. Ma fai attenzione alle dimensioni della lampada. Generalmente la sorgente di ioni Hall è circolare, l'area coperta dalla sorgente di ionizzazione è limitata. È necessario coprire tutti i pezzi con il fascio di ioni. Se la normale sorgente di ioni Hall è troppo piccola, si può considerare la sorgente di ionizzazione dello strato anodico. Un motivo per cui le sorgenti ioniche non brillano è che il campo magnetico è troppo debole per eccitare il plasma. Esistono molti tipi di sorgenti di ioni, ma fondamentalmente producono prima il plasma, quindi estraggono gli ioni di gas dal plasma e li accelera in fasci di ioni, quindi la visione posteriore per iniettare elettroni e il flusso di ioni.