Struttura e schema schematico della pompa molecolare

I componenti principali della pompa molecolare sono lame rotanti e lame fisse (Figura 1). La velocità di rotazione della lama rotante raggiunge da 1800 a 90000 giri / min, la velocità alla punta della lama raggiunge diverse centinaia di metri al secondo, che è vicino alla velocità media della molecola. E le molecole di gas vengono trasportate alla porta di scarico dalla collisione con esso. Quando la lama rotante è impostata per essere sottotitolata ruotando ad alta velocità, la probabilità che le molecole di gas si spostino dal lato di aspirazione al lato di scarico è A, e la probabilità che le molecole di gas si spostino dal lato di scarico al lato di aspirazione è B. La lama rotante colpisce le molecole di gas, quindi le molecole di gas colpiscono la lama fissa e volano alla successiva lama rotante, infine la molecola di gas viene espulsa verso la luce di scarico, facendo A> B per ottenere la funzione di scarico.

Velocità di scarico della pompa molecolare = Area di apertura del lato di aspirazione × 11,6 × A / Bp

Nella formula, p si riferisce al valore di aumento della pressione.

Maggiore è l'angolo della pala, maggiore è la velocità di scarico minore del rapporto di compressione. Se l'angolo della lama è piccolo, la velocità dello scarico è bassa e il rapporto di compressione è elevato. La velocità di scarico della pompa molecolare non è influenzata dal tipo di gas e la pressione massima della pompa può essere di 10-8 Pa, ma la velocità dello scarico sarà ridotta per molecole / atomi leggeri.

Come una sorta di pompa meccanica ad alta velocità di rotazione, la pompa molecolare richiede un alto bilanciamento ed è molto fragile per corpi estranei solidi. Quindi di solito un filtro metallico è installato all'ingresso di esso. Quando la pompa molecolare funziona, le lame potrebbero danneggiarsi se la pressione si deteriora improvvisamente.

Fig.1 Struttura e schema di una pompa molecolare

Le pompe molecolari convenzionali utilizzano i cuscinetti per garantire la rotazione ad alta velocità delle pale. Ma la nuova pompa molecolare adotta la struttura di levitazione magnetica, che fa aumentare continuamente la velocità della lama, e allo stesso tempo la pompa molecolare è più adatta per il sistema di ultra-alto vuoto, inoltre, prolunga la vita di servizio del pompa molecolare.

Rispetto alle pompe rotative a palette oleose e alle pompe a secco di tipo turbo, le pompe molecolari offrono un ambiente di lavoro più pulito e possono raggiungere livelli di vuoto estremamente elevati. Tuttavia, le pompe molecolari non possono funzionare a pressione atmosferica e devono essere utilizzate in combinazione con altre pompe per vuoto grossolane (pompe rotative a palette oleose o pompe a secco turbo) che possono funzionare a pressione atmosferica. La pompa molecolare ha una struttura complicata e un prezzo elevato, e vi sono vibrazioni durante la rotazione ad alta velocità.