Gauge Vacuum Gauge (Gauge Vacuum Gauge)
May 28, 2018| Il vacuometro a resistenza, noto anche come indicatore Pirani, riflette le variazioni di pressione in base ai cambiamenti di resistenza dei filamenti caldi. È composto principalmente da circuiti di misura e misura. L'intervallo di misurazione è compreso tra 104 e 10-1 Pa.
La struttura del misuratore di resistenza è mostrata in Figura 1. Un filo caldo a spirale cilindrica avvolto con un filo di resistenza ad alto coefficiente di temperatura è incapsulato nella scatola dell'erogatore. Entrambe le estremità del filo caldo sono portate fuori dal tubo di misura e collegano la linea di misurazione. Il guscio del misuratore può essere realizzato in metallo o vetro. Il guscio metallico offre i vantaggi della durabilità, la comoda rimozione dei filamenti caldi, ecc. Gli svantaggi sono prestazioni di tenuta scadenti e prezzo elevato. Il guscio di vetro presenta i vantaggi di buone prestazioni di tenuta e basso prezzo, e lo svantaggio è che è facilmente danneggiato.
Il coefficiente di temperatura di resistenza e la resistività di alcuni fili di resistenza che avvolgono il filo di riscaldamento sono mostrati nella Tabella 4-1, tra cui comunemente vengono usati tungsteno, platino e nichel. Al fine di garantire la stabilità di funzionamento del filo caldo, oltre a pulire la superficie del filo caldo, a volte un sottile strato di vetro, quarzo o tantalio viene applicato sulla superficie del filo caldo per evitare l'ossidazione o la contaminazione del caldo filo quando viene utilizzato sotto alta pressione. Ma si ritiene che questo metodo aumenterà la sua inerzia termica.
Metallo: Tungsteno Platino Nichel cromo Iridio Molibdeno Ferro Rame Argento
Temperatura di resistenza
Coefficiente in 0 ℃ 4.82 3.9 6.0 2.5 4.1 4.71 6.0 4.3 4.29
(10 -3 · ℃ -1 )
Resistività in 0 ℃ 5.1 9.2-9.6 6.84 12.9 4.85 5.71 9.7 1.67 1.59
px10 -8 (Ω · m)
Tabella 4-1 Coefficiente di temperatura di resistenza e resistività di alcuni metalli