Le migliori tecniche di rilevamento delle perdite per la macchina di rivestimento PVD
Apr 16, 2018| Rilevamento del metodo Bubble
Il rilevamento del metodo a bolle di rivestimento PVD è preferito per contenitori o dispositivi di rivestimento PVD che vengono elaborati. Rilevamento del metodo a bolle di rivestimento PVD significa riempire la parte testata con un determinato gas di indicazione della perdita di pressione, quindi inserire la parte sottoposta a prova nel liquido. Il gas entrerà nel liquido circostante attraverso il foro di perdita per formare bolle. E il luogo in cui ci sono le bolle è la posizione del foro di perdita. Inoltre, il tasso di perdita del foro può essere stimato in base alla velocità di formazione e alle dimensioni delle bolle, nonché alle proprietà fisiche del gas di indicazione delle perdite.
Rilevamento del metodo di copertura
Metodo di copertura Il rilevamento si riferisce a un metodo che copre l'intero dispositivo di rivestimento PVD con un sacchetto di plastica di etilene (coperchio) e quindi riempie il sacchetto con elio, cioè l'intero contenitore del vuoto è immerso nell'elio per il rilevamento delle perdite. Dopo aver evacuato completamente il gas, disattivare la valvola principale, la valvola di massima e la valvola di perdita. Quindi utilizzare un vacuometro a ionizzazione BA per misurare la variazione di aumento di pressione per determinare se vi sono perdite.
Il rivestimento PVD è la somma dell'aumento di pressione dovuto alla perdita di gas e all'aumento di pressione causato dal degasaggio del materiale, ed infine è un aumento lineare proporzionale al tempo. Quando la curva di rivestimento PVD mostra uno stato come descritto sopra, significa che il dispositivo perde. Quando non ci sono perdite e solo il degassamento del materiale, la curva deve essere satura. Se c'è solo una perdita senza degassamento del materiale, è una linea retta che è proporzionale al tempo all'inizio.