Il sistema di guida e il sistema di raffreddamento degli impianti di rivestimento PVD
Mar 31, 2018| Sistema di guida
Il sistema di guida consente al substrato di passare dal posizionamento del substrato nel dispositivo per la deposizione dello sputtering, all'uscita dal dispositivo dopo il completamento dell'elaborazione. Il sistema di guida è composto da motore di azionamento, rotella di scorrimento, convertitore di frequenza e così via. I motivi per l'aggiunta del sistema di azionamento sono:
(1) Assicurarsi che i rivestimenti di spessore uniforme siano ampiamente distribuiti.
(2) Trasmissione automatica facile da realizzare.
Sistema di raffreddamento
Il sistema di raffreddamento è composto principalmente dalla pompa molecolare, dalla camera, dal gruppo pompa e dall'acqua circolante di raffreddamento del motore di azionamento. La sua funzione principale è di raffreddare la camera del vuoto, la pompa, l'azionamento, l'alimentazione, ecc. I requisiti dell'acqua di raffreddamento sono:
(1) Temperatura: 17 ~ 22 ° C;
(2) Pressione: 2 ~ 3e0.05Pa;
(3) Le particelle magnetiche devono essere rimosse dall'acqua e l'acqua deve essere ammorbidita, pH = 6 ~ 8.