Digitare la selezione dell'unità del vuoto
Jun 30, 2018| 1. Composizione e classificazione delle unità del vuoto
L'unità del vuoto è generalmente composta dai seguenti componenti: varie pompe del vuoto, misuratori del vuoto, valvole del vuoto, tubi del vuoto e alcuni altri componenti come soffiatori, giunti a depressione, serbatoi di stoccaggio del gas, soffietti, collettori di polveri e relè del vuoto.
Secondo la pressione di esercizio dell'unità, ci sono unità di vuoto approssimativo (> 1330Pa), unità di vuoto basso (1330 ~ 0.13Pa), unità di alto vuoto (0.13 ~ 1.3x10-6Pa), unità di ultra alto vuoto (1.3x10-6 ) ~ 1,3 × 10-11 Pa) e unità a vuoto molto alto (<1,2 ×="" 10-11="">
2. Unità a basso vuoto
Le caratteristiche principali dell'unità di vuoto basso sono l'alta pressione di esercizio e la grande cilindrata, ma la velocità di pompaggio è inferiore a quella dell'unità di alto vuoto. Viene principalmente utilizzato per il pompaggio di massima della camera a vuoto e alcune unità del vuoto che richiedono un'elevata pressione di esercizio come unità di scarico del vuoto, unità di impregnazione sottovuoto, unità di filtraggio sottovuoto, unità di degasaggio sottovuoto, unità di essiccazione sottovuoto e così via. Le pompe principali dell'unità a basso vuoto sono comunemente pompe a vuoto, pompe per vuoto a tenuta d'olio, pompe a getto d'acqua, pompe a getto d'acqua, pompe ad anello d'acqua, pompe a getto d'olio, pompe ad adsorbimento a setaccio molecolare e pompe Roots. Quando si utilizza un'unità a basso vuoto, è inoltre necessario configurare componenti come un depolveratore e un filtro a secco in base ai requisiti di processo del grado di pulizia e umidità del gas da pompare.
3. Unità ad alto vuoto
3.1 Scegli la pompa principale. La pompa principale può essere la pompa di diffusione, la pompa molecolare, la pompa dello ione sputter, la pompa al titanio, la pompa criogenica e così via.
3.2 Scegliere la pompa di prevuoto e il tubo di stoccaggio del gas (antiurto, ridurre il ciclo di lavoro, evitare una grande quantità di sfiato nella camera del vuoto e stabilizzare la pressione di uscita della pompa di diffusione)
4. Unità per vuoto ultra alto
Il vuoto finale della pompa principale è elevato, il tasso di perdita è basso ed è resistente alla cottura a 200-450 ° C.
4.1 Unità pompa di diffusione: ridurre il flusso di ritorno e controllare l'inquinamento.
4.2 Unità pompa molecolare: il rapporto di compressione con l'idrogeno è ridotto e il gas residuo è principalmente idrogeno.
4.3 Unità pompa di ioni Sputter: solitamente utilizzata in combinazione con una pompa in titanio.
4.4 Unità pompa criogenica: nessun inquinamento.