Tipico tipo di sistema di vuoto
Jun 30, 2018| Il sistema utilizzato per soddisfare determinati requisiti di processo, in grado di ottenere e misurare il vuoto specifico richiesto, si chiama sistema a vuoto. Un sistema di vuoto più completo è costituito da camera a vuoto, pompa del vuoto o unità del vuoto, dispositivo di misurazione del vuoto, condotto di connessione, valvola del vuoto, trappola e altri componenti del vuoto e sistema di controllo elettrico. Tipico sistema di vuoto è mostrato in Fig.1 e Fig.2.
1. Valvola di spurgo della camera di vuoto 2. Vuotometro di ionizzazione 3. Vuotometro termocoppia 4. Valvola di regolazione del flusso
5. Valvola per alto vuoto 6. Pompa di diffusione 7. Serbatoio di stoccaggio del gas
8. Calibro termocoppia (misura pressione pre-stadio pompa di diffusione) 9. Valvola di supporto 10. Sensore di pressione
11. Valvola di pre-pompaggio 12. Pompa per vuoto delle radici 13. Valvola di by-pass 14. Valvola di spurgo elettromagnetica
15. Pompa a vuoto meccanica
Fig.1 Schema schematico di un tipico sistema a vuoto
1. Camera del vuoto 2. Vuotometro di ionizzazione 3. Vuotometro termocoppia 4. Valvola di sfiato
5. Valvola per alto vuoto 6. Trappola fredda 7. Pompa di diffusione 8. Valvola di fondo 9. Valvola di spurgo elettromagnetica
10. Pompa a vuoto meccanica 11 Valvola di pre-pompaggio
Fig.2 Schema schematico di un tipico sistema a vuoto