Attrezzatura per rivestimento sottovuoto per utensili

Prendendo ad esempio le apparecchiature di rivestimento sottovuoto per utensili, molti recenti sviluppi sono stati realizzati a livello internazionale. Lo sviluppo e l'uso di un sistema di campo magnetico universale [3] può ottenere una struttura di rivestimento uniforme, migliorare l'utilizzo del target e aumentare la resa; Può soddisfare i requisiti della moderna tecnologia di placcatura ionica ad arco sottovuoto. Può realizzare un campo magnetico variabile infinito e compensare efficacemente l'impatto della perdita del bersaglio. Il sistema di campo magnetico della sorgente ad arco può essere personalizzato in base alle esigenze della preparazione del rivestimento di nitruro, ossido o metallo. Regolando la posizione relativa del magnete permanente e del bersaglio (Figura 2) o le caratteristiche correnti della bobina elettromagnetica (Figura 3), il tasso di evaporazione del bersaglio può essere mantenuto costante durante l'intero ciclo di vita del bersaglio [{{ 3}}]. Si possono anche considerare le caratteristiche superficiali dei film preparati e la velocità di deposizione dei film. L'uso dell'ottimizzatore del plasma (compresa la funzione di regolazione del campo magnetico fornita) può far sì che il punto rimanga principalmente nell'area periferica della superficie del bersaglio, aumentare la velocità del movimento del punto, controllare la densità del plasma della camera a vuoto, il tasso di crescita del film e il tasso di ionizzazione delle particelle attive nel plasma. Si può vedere che l'ottimizzatore del plasma può migliorare la funzione di regolazione del plasma, che aiuta a realizzare la struttura di rivestimento personalizzata e la differenziazione dei prodotti di rivestimento. Ad esempio, può inibire il comportamento di diffusione durante la crescita del film, limitare la formazione di strutture a fase esagonale e contribuire alla formazione di una singola struttura a fase cubica [6]. La tecnologia avanzata di incisione a caldo può aumentare la velocità di incisione, migliorare l'uniformità dell'incisione e ridurre il ciclo di manutenzione della macchina di rivestimento. Consente un'ampia gamma di parametri personalizzati per ottenere una superficie utensile dedicata; Fornisce un'eccellente adesione del rivestimento e aiuta a migliorare le prestazioni, la durata e le prestazioni di rigenerazione degli utensili rivestiti. Allo stato attuale, lo sviluppo di apparecchiature domestiche per il rivestimento sottovuoto mostra che la tecnologia generale del sistema di campo magnetico non è stata completamente padroneggiata e l'ottimizzazione avanzata del plasma e la tecnologia di incisione del riscaldamento hanno una certa base di ricerca, sviluppo e applicazione.

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