Regolatore di portata massica per uso generico - MKS 1179C
1179C è un controllore di flusso di massa per uso generico progettato per misurare e controllare il flusso di gas in un'ampia varietà di applicazioni. I controllori di portata massica 1179 sono disponibili con gamme Full Scale da 10 sccm a 20 slm, garantendo un controllo del flusso veloce e ripetibile fino a ...
- introduzione al prodotto
INTRODUZIONE
1179C è un controllore di flusso di massa per uso generico progettato per misurare e controllare il flusso di gas in un'ampia varietà di applicazioni. I controllori di portata massica 1179 sono disponibili con intervalli di scala completa da 10 sccm a 20 slm, garantendo un controllo del flusso rapido e ripetibile fino a 0,2 sccm. Può anche essere usato come regolatore di pressione se collegato a un trasduttore di pressione adatto.
Il modello 1179C è un sostituto diretto della forma per i più comuni MFC presenti oggi sul mercato. L'ingombro standard da 3 pollici consente al modello 1179C di cadere direttamente nello stesso spazio senza modificare le linee del gas esistenti. I connettori elettrici sono gli stessi connettori tipo "D", con gli stessi pin-out, segnali e funzioni delle rispettive controparti del settore, quindi non è necessario ricablare il cavo o il connettore. Il modello 1179C è compatibile con l'alimentatore MFC e l'elettronica di visualizzazione di MKS o di altri produttori.
CARATTERISTICHE E BENEFICI
◆ Il design brevettato con 1 sensore offre un'eccezionale stabilità zero
◆ Intervallo di portata a fondo scala da 10 sccm a 20 slm per misurazioni e controlli di flusso precisi e ripetibili
◆ Percentuale della precisione a fondo scala per le configurazioni analogiche
◆ Il tempo di riscaldamento rapido riduce al minimo i costosi tempi di fermo della produzione
◆ Compatibile con precedenti MKS MFC e moduli di alimentazione / lettura
◆ Progettazione e test rigorosi includono analisi MTBF e test STRIFE per garantire prestazioni a lungo termine
◆ La finitura superficiale delle superfici inossidabili bagnate, la lavorazione in camera sterile e l'uso minimo di guarnizioni in elastomero consentono l'utilizzo in processi puliti complessi
◆ La garanzia di due anni garantisce qualità e soddisfazione del cliente
STRUTTURA
Un diagramma di sezione trasversale di un controllore di mass-flo 1179C
Precisione e ripetibilità del flusso
Il grafico sopra mostra la tipica precisione del flusso e ripetibilità degli MFC analoghi nella famiglia 1179C. Le misurazioni sono state effettuate utilizzando il calibratore di flusso standard primario Califlow ® di MKS Instruments per un periodo di 10 giorni.
Stabilità zero
Il grafico sopra mostra l'eccellente stabilità dello zero e dello span del sensore 1179C utilizzato nella famiglia 1179. Gli strumenti sono stati accesi e testati casualmente per la deriva zero e span su un periodo di 19 mesi.
SPECIFICHE
| Intervalli a tutto campo (N 2 equivalenti) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm | |
| Pressione massima in ingresso | 150 psig | |
Pressione operativa normale Differenziale (con atmosferico pressione all'uscita MFC) | Da 10 a 5000 sccm | Da 10 a 40 psid |
| Da 10000 a 30000 sccm | Da 15 a 40 psid | |
| Gamma di controllo | Dal 2% al 100% delle FS | |
Precisione (analogica) (inclusa non linearità, isteresi e non ripetibilità riferito a 760 mmHg e 0 ° C) | ± 1,0% di FS | |
| ripetibilità | ± 0,2% di FS | |
| Risoluzione | 0,1% di FS | |
| Coefficienti di temperatura | Zero | <0,05% di="" v="" °=""> |
| campata | <0,08% di=""> | |
| Tempo di riscaldamento (a meno dello 0,2% di V di prestazioni stazionarie) | <2> | |
| Tempo di assestamento del controllore (secondo la SEMI E17-91) | <2> | |
| Coefficiente di pressione | <0,02% di=""> | |
| Intervallo di temperatura di funzionamento normale | Da 0 ° C a 50 ° C | |
| Tensione di ingresso richiesta | Max. corrente all'avvio (primi 2 secondi) | ± 15 Vc.c. (± 5%) @ 200 mA |
| Corrente tipica allo stato stazionario | ± 15 Vc.c. (± 5%) @ 100 mA | |
| Set Point Command Signal | Da 0 a 5 VDC da <20 k=""> | |
| Segnale di uscita | Da 0 a 5 VDC in> 10 K Ω | |
| Impedenza di uscita | <1> | |
Tipi di connettori Analogico | Tipo "D" a 9 o 15 pin (Il connettore tipo "D" a 15 pin è elettronico compatibile con altri controller di flusso MKS . Consultare l'ingegneria delle applicazioni per i dettagli.) | |
| Materiali bagnati | Standard | 316L SS, Viton ®, nichel |
| Opzionale (guarnizioni e sede valvola) | Buna-N, Neoprene ®, Kalrez ® | |
| Perdita di integrità | Esterno (scc / sec He) | <1 x="" 10=""> |
| Attraverso la valvola chiusa | <1,0% di="" fs="" a="" 40="" psig="" ingresso="" a=""> e (Per garantire l'assenza di flusso, si consiglia una valvola di intercettazione positiva separata). | |
| Raccordi (compatibili con) | Swagelok ® 4 VCR ®, Swagelok ® 4 VCO ®, ¼ '' Swagelok | |
| Conformità | CE | |
DISEGNO DIMENSIONALE
Nota: se non diversamente specificato, le dimensioni sono valori nominali in pollici (riferimento mm).
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