Serbatoio d'aria
Oct 12, 2023| Serbatoio d'aria
Il gruppo pompa ad alto vuoto con piccola pompa a diffusione è solitamente configurato con un serbatoio del gas, che è disposto tra la pompa a diffusione e la pompa anteriore per immagazzinare il gas scaricato dalla pompa a diffusione. I motivi per impostare il serbatoio del gas sono:
1) La necessità di protezione dagli urti del sistema
Quando il sistema del vuoto è in funzione, alcuni processi richiedono una rigorosa resistenza agli urti, quindi la precedente pompa per vuoto meccanica deve smettere di funzionare per un periodo di tempo in cui la camera del vuoto è in condizioni di funzionamento. Durante questo periodo, il gas scaricato dalla pompa di diffusione viene tutto immagazzinato nel serbatoio del gas e il serbatoio del gas viene utilizzato per sostituire la pompa meccanica per mantenere il normale funzionamento della pompa di diffusione.
2) Per abbreviare il ciclo di lavoro
Alcuni processi produttivi richiedono che la camera a vuoto venga immessa nell'atmosfera in cambio di componenti e caricata senza chiudere il riscaldatore della pompa a diffusione. La pompa anteriore dell'unità per vuoto viene utilizzata come pompa di prepompaggio. Dopo il caricamento, la camera a vuoto viene pre-pompata con una pompa meccanica e durante questo periodo il serbatoio del gas viene utilizzato per mantenere la pompa di diffusione (come pompa anteriore).
3) Per evitare che una grande quantità di scarico istantaneo di gas nella camera a vuoto possa influenzare il normale funzionamento della pompa di diffusione
Nella produzione con processo sotto vuoto, il volume di scarico è particolarmente elevato in un certo periodo di tempo, ma il tempo è breve. Se non è economico configurare la pompa meccanica in base al volume di scarico massimo in questo momento, il serbatoio di stoccaggio della fase preliminare può essere configurato nel sistema in questo momento per immagazzinare una parte del gas al volume di scarico massimo per evitare il pressione di pre-stadio della pompa di diffusione superiore alla pressione inversa massima.
4) Utilizzato per stabilizzare la pressione di uscita della pompa di diffusione
Poiché lo scarico della pompa a vuoto meccanica è pulsato, sebbene la frequenza non sia elevata (generalmente circa 7 volte al secondo), causerà anche fluttuazioni nella pressione di uscita della pompa a diffusione e l'impostazione del serbatoio del gas può ridurre tali fluttuazioni fluttuazioni.
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