Sistema ad alto vuoto
Oct 25, 2023| Sistema ad alto vuoto
Il sistema ad alto vuoto è ampiamente utilizzato e il suo intervallo di pressione di esercizio è generalmente 1,33×10-2 ~ 1,33×10-3Pa. I sistemi di pompaggio comuni sono:
(1) Sistema di vuoto con pompa meccanica serie pompa a diffusione. Come mostrato nella Figura 5-2, questo sistema può ottenere un vuoto di 10-2 ~ 10-5Pa, che viene generalmente utilizzato in apparecchiature applicative con gas di scarico relativamente piccoli durante il funzionamento. Il sistema presenta i vantaggi di una struttura semplice, un funzionamento affidabile e un basso costo. Lo svantaggio è che il sistema si avvia lentamente e il tempo di pre-estrazione è lungo. Il vapore d'olio della pompa a diffusione può facilmente rifluire nella camera a vuoto.
(2) pompa booster dell'olio in serie con pompa a diffusione e quindi sistema di vuoto con pompa meccanica in serie. Il sistema ha un breve tempo di preestrazione ma un avvio lento.
(3) serie di pompe di diffusione Pompa Roots e quindi sistema di vuoto con pompa meccanica in serie. L'avvio è lento, ma il tempo di pre-pompaggio è breve.
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