Set pompa per ultra alto vuoto

Set pompa per ultra alto vuoto
L'unità per vuoto ultraelevato funziona nell'intervallo di pressione del vuoto ultraelevato di 10-6 ~ 10-10Pa, oltre al requisito che il materiale della camera a vuoto abbia una velocità di uscita del gas molto bassa, un tasso di perdita di gas molto ridotto e può resistere a temperature elevate di 200 ~ 450 gradi, i requisiti per l'unità includono anche:
(1) il grado di vuoto finale della pompa principale deve essere elevato, almeno 10-7 ~ 10-8Pa superiore;
(2) La pompa principale ha una certa velocità di pompaggio entro l'intervallo di pressione di esercizio del vuoto ultraelevato;
(3) La pompa principale dell'unità o la parte sopra la presa d'aria della pompa principale può resistere a temperature elevate di 200 ~ 450 gradi;
(4) La pressione parziale del gas di riflusso (incluso il vapore liquido di lavoro e il gas risolto) verso la pompa autonoma dovrebbe essere sufficientemente bassa;
(5) La pompa principale con forte selettività del gas pompato deve essere dotata di una pompa ausiliaria sufficientemente grande;
(6) Tubazioni, valvole e altri componenti sopra la porta di aspirazione della pompa principale dell'unità, la selezione e la sigillatura dei materiali devono essere particolarmente attenti. Generalmente vengono utilizzati acciaio inossidabile con bassa velocità di uscita del gas e struttura di tenuta metallica e materiali di tenuta.

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