Sistema di vuoto con pompa turbomolecolare in serie alla pompa meccanica
Oct 27, 2023| Sistema di vuoto con pompa turbomolecolare in serie alla pompa meccanica
La figura 5-14 mostra il sistema. Questo sistema può ottenere un vuoto di 10-6Pa senza cottura e il grado di vuoto dopo la cottura può raggiungere 10-8Pa. La caratteristica del sistema è relativamente pulita e può formare un sistema ad altissimo vuoto senza olio.
Figura 5-14 Sistema per vuoto ultra-alto con pompa turbomolecolare: 1- camera a vuoto 2- Vacuometro a termocoppia 3-Vuotometro BA 4- Valvola per vuoto ultra-alto {{8 }} Pompa turbomolecolare 6- pompa anteriore 7- Elettrovalvola 8- pompa meccanica
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